[发明专利]确认维修站及用以标记基板为缺陷的方法无效
| 申请号： | 200710096919.5 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101042356A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 苏洹漳 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/308;H05K13/06;H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾高雄市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 搜索关键词： | 确认 维修 用以 标记 缺陷 方法 | ||
【权利要求书】：
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