[发明专利]光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂组合物，其特征在于，该组合物包含：

a)由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂；

b)重氮类感光性化合物；

c)有机溶剂；

[化学式1]

在上述化学式1中，R滚示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数；

其中，所述酚醛清漆树脂由以2～5∶2～5∶0.5～3∶0.5～3的重量比混合间甲 酚、对甲酚、间苯二酚、邻羟苯甲醛的混合物聚合而成，且重均分子量为200 0～10000；所述重氮类感光性化合物中，2，3，4-三羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌- 5-磺酸酯和2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮-1，2-重氮萘醌-5-磺酸酯的重量比为4～6∶ 6～4。

2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于，该组合物包含：

a)5～30重量％的所述酚醛清漆树脂；

b)2～10重量％的所述重氮类感光性化合物；

c)余量的所述有机溶剂。

3.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于：

所述有机溶剂是选自丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、2-甲氧基乙基乙酸酯、 丙二醇单甲醚中的至少一种溶剂。

4.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于：

该组合物进一步包含0.1～10重量％的(d)灵敏度增进剂，其为选自2，3， 4-三羟基二苯甲酮、2，3，4，4’-四羟基二苯甲酮、2，3，4，3’，4’，5-六羟基二苯甲酮、 丙酮-连苯三酚缩合物、4，4-[1-[4-[1-(1，4-羟苯基)-1-甲基乙基]苯基]亚乙基]双 酚、4，4-[[2-羟苯基]亚甲基]双[2，6-二甲基苯酚]中的至少一种化合物。

5.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其特征在于：

该组合物进一步包含选自着色剂、染色剂、防痕剂、增塑剂、增粘剂、 加速剂、表面活性剂中的至少一种添加剂。