[发明专利]薄膜图案层制造方法及紫外光源装置无效
申请号: | 200710097320.3 | 申请日: | 2007-05-08 |
公开(公告)号: | CN101303523A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 王宇宁 | 申请(专利权)人: | ICF科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/20;B41J2/015;B29C45/26;H01L51/56 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周春发 |
地址: | 美国加州95054圣*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 图案 制造 方法 紫外 光源 装置 | ||
1.一种薄膜图案层制造方法,包括以下步骤:
提供一基板,其表面具有多个分隔墙,该多个分隔墙间形成多个收容空 间,该收容空间排列于基板上;
提供一紫外光线,利用该紫外光线照射该多个分隔墙,该紫外光线的照 射方向与该分隔墙的顶部表面的夹角θ范围如下:5°<θ<80°;
填充墨水至该多个收容空间内;及
固化墨水以形成薄膜图案层。
2.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述多个分隔 墙通过以下步骤形成:
在该基板上表面涂布一光阻材料层;
将具有预定分隔墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间,并 曝光该光阻材料层;
利用显影方式将非分隔墙图案部分的光阻材料层去除,形成设于基板上 表面的多个分隔墙。
3.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述多个分隔 墙通过以下步骤形成:
提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具;
利用射出成型机将基板材料射出至该模具中;
脱模,得到该表面具有多个分隔墙的基板。
4.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述基板材料 选自玻璃、金属和塑料。
5.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述填充墨水 的步骤是利用一喷墨装置将墨水填充至收容空间内,该喷墨装置包括至少一 个喷墨头与设置于所述喷墨头上的至少一个喷墨孔。
6.如权利要求5所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述喷墨装置 是热泡式喷墨装置和压电式喷墨装置的一种。
7.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述的固化步 骤是利用一加热装置或一抽真空装置、或一曝光装置、或上述装置的其中两 种或三种的任意组合固化墨水。
8.如权利要求7所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述曝光装置 是一紫外线曝光装置。
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