[发明专利]薄膜图案层制造方法及紫外光源装置无效

专利信息
申请号: 200710097320.3 申请日: 2007-05-08
公开(公告)号: CN101303523A 公开(公告)日: 2008-11-12
发明(设计)人: 王宇宁 申请(专利权)人: ICF科技有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/20;B41J2/015;B29C45/26;H01L51/56
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人: 周春发
地址: 美国加州95054圣*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 薄膜 图案 制造 方法 紫外 光源 装置
【权利要求书】:

1.一种薄膜图案层制造方法,包括以下步骤:

提供一基板,其表面具有多个分隔墙,该多个分隔墙间形成多个收容空 间,该收容空间排列于基板上;

提供一紫外光线,利用该紫外光线照射该多个分隔墙,该紫外光线的照 射方向与该分隔墙的顶部表面的夹角θ范围如下:5°<θ<80°;

填充墨水至该多个收容空间内;及

固化墨水以形成薄膜图案层。

2.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述多个分隔 墙通过以下步骤形成:

在该基板上表面涂布一光阻材料层;

将具有预定分隔墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间,并 曝光该光阻材料层;

利用显影方式将非分隔墙图案部分的光阻材料层去除,形成设于基板上 表面的多个分隔墙。

3.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述多个分隔 墙通过以下步骤形成:

提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具;

利用射出成型机将基板材料射出至该模具中;

脱模,得到该表面具有多个分隔墙的基板。

4.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述基板材料 选自玻璃、金属和塑料。

5.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述填充墨水 的步骤是利用一喷墨装置将墨水填充至收容空间内,该喷墨装置包括至少一 个喷墨头与设置于所述喷墨头上的至少一个喷墨孔。

6.如权利要求5所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述喷墨装置 是热泡式喷墨装置和压电式喷墨装置的一种。

7.如权利要求1所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述的固化步 骤是利用一加热装置或一抽真空装置、或一曝光装置、或上述装置的其中两 种或三种的任意组合固化墨水。

8.如权利要求7所述的薄膜图案层制造方法,其特征在于,所述曝光装置 是一紫外线曝光装置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ICF科技有限公司,未经ICF科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710097320.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top