[发明专利]狭缝式涂敷装置

权利要求书

1.一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，该涂敷装置包括：

工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；

喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在所述工作台的一侧，并且对沿所述工作面移动的基板涂敷感光液；

清洗辊轮，其具有圆筒形清洗部件，且以横穿吐出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；

第一驱动部，其用于向一个方向转动所述清洗辊轮，使圆筒形清洗部件以其轴线为中心旋转；

第二驱动部，其用于移动所述清洗辊轮，以使所述清洗辊轮在第一驱动部的驱动作用下旋转的同时，沿所述吐出口的切开方向移动；

第三驱动部，其与第一驱动部及第二驱动部相连动，以使所述清洗辊轮向直交于所述吐出口狭缝的方向移动。

2.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

通过所述各驱动部的连动，所述清洗辊轮三个不同方向的去除动作相结合，以使所述圆筒形清洗部件的圆周面与吐出口端部螺旋式接触。

3.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述清洗部件使用三元乙丙橡胶制成。

4.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述第一驱动部使用电机，而所述清洗辊轮接受所述电机轴的传动力，以其轴线为中心向一特定方向旋转。

5.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述第二驱动部或第三驱动部可选用移送用流体压力缸、直线导轨、与电机相连的齿条齿轮、输送螺杆中的任何一种。

6.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述清洗辊轮的长度大于吐出口的狭缝宽度，小于狭缝长度。

7.根据权利要求1所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述涂敷装置进一步包括形成在所述圆筒形清洗部件圆周面上的螺旋状导槽。

8.根据权利要求7所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述导槽的槽深及宽度正好适于容纳所述吐出口狭缝，并可与吐出口两侧壁相接触。

9.一种狭缝式涂敷装置，其特征在于，该涂敷装置包括：

工作台，其工作面上进行对基板的涂敷作业；

喷嘴本体，其具有狭缝式吐出口，且固定在所述工作台的一侧，并且对沿所述工作面移动的基板涂敷感光液；

清洗辊轮，其具有圆筒形清洗部件，且以横穿所述吐出口切开方向的方式位于所述喷嘴本体的下方；

第一驱动部，其用于向一特定方向转动所述清洗辊轮，以使圆筒形清洗部件以其轴线为中心旋转；

第二驱动部，其与所述第一驱动部相连动，以使圆筒形清洗部件沿吐出口狭缝的对角线方向移动。

10.根据权利要求9所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

通过所述各驱动部的连动，所述清洗辊轮三个不同方向上的去除动作相结合，以使所述圆筒形清洗部件的圆周面与吐出口端部螺旋式接触。

11.根据权利要求9所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述第一驱动部使用电机，而所述清洗辊轮接受所述电机轴的传动力，以其轴线为中心向一个特定方向旋转。

12.根据权利要求9所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述第二驱动部可选用移送用流体压力缸、直线导轨、与电机相连的齿条齿轮、输送螺杆中的任何一种。

13.根据权利要求9所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述清洗辊轮的长度大于吐出口狭缝宽度，小于狭缝长度。

14.根据权利要求9所述的狭缝式涂敷装置，其特征在于：

所述涂敷装置进一步包括形成在圆筒形清洗部件圆周面上的螺旋状导槽。