[发明专利]新型电压保护器件无效
申请号: | 200710099059.0 | 申请日: | 2007-05-10 |
公开(公告)号: | CN101304048A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 姜岩峰 | 申请(专利权)人: | 北方工业大学 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵镇勇 |
地址: | 100041*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 电压 保护 器件 | ||
1、一种新型电压保护器件,包括双向二极管的五层结构,其特征在于, 所述五层结构中的表面扩散P型区上包括有:电介质层和氧化层;电介质层位 于表面扩散P型区上,氧化层覆盖在一层电介质上,另一层电介质覆盖在氧化 层上并与下面一层的电介质接触。
2、如权利要求1所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的电介质层 为银层或铝层。
3、如权利要求1所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的氧化层为 二氧化硅SiO2层。
4、如权利要求1所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的五层结构 中衬底P区采用高电导率材料构成。
5、如权利要求4所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的衬底P区 采用高电导率材料构成,进一步为衬底P区采用0.005欧姆以上电导率的材料构 成。
6、如权利要求5所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的五层结构 中的表面扩散P型区为浅结扩散。
7、如权利要求6所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述的浅结扩散 为30微米或30微米以下的扩散。
8、如权利要求1所述的新型电压保护器件,其特征在于,所述电介质层的 宽度要超过表面扩散P型区,连接表面扩散P型区和下面的N型区;所述的氧化 层要覆盖电介质层的边缘。
9、如权利要求1-8其中之一所述的新型电压保护器件,其特征在于,所 述的表面扩散P型区的掺杂浓度为5×1021/cm-3;距离表面以下的N型区的掺杂 浓度为4.6×1019/cm-3;衬底P型区的掺杂浓度为2×1016/cm-3。
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