[发明专利]底端为源极的垂直构型场效应发光管及其制备方法无效
申请号: | 200710100157.1 | 申请日: | 2007-06-05 |
公开(公告)号: | CN101075662A | 公开(公告)日: | 2007-11-21 |
发明(设计)人: | 杨盛谊;娄志东;杜文树;齐洁茹;邓振波 | 申请(专利权)人: | 北京交通大学 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 | 代理人: | 齐玲;毛燕生 |
地址: | 100044*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底端 垂直 构型 场效应 发光 及其 制备 方法 | ||
1.一种底端为源极的垂直构型场效应发光管,其特征在于其采用垂直结构,即:
在基片(1)上,有导电源极(2);
在导电源极(2)上有半导体层(3);
在半导体层(3)上有导电栅极(4);
在导电栅极(4)上有半导体层(5)和有机发光层(6);
在有机发光层(6)上有透明导电漏极(7)。
2.根据权利要求1所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管,其特征在于除了导电电极外,场效应发光管器件中的半导体层均可以是有机层、无机层以及有机/无机层的组合。
3.一种底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于其制备方法如下:
(1)清洗基片(1),然后在其上蒸镀导电电极作为场效应发光管的源极(2);
(2)通过热蒸发或甩膜等方法将有机半导体材料(3)制备到源极(2)上;
(3)利用热蒸发等方法并通过掩模板将导电电极蒸镀到半导体层(3)上,形成一定厚度的导电层作为栅极(4);
(4)用热蒸发等方法在栅极(4)上蒸镀半导体层(5)和有机发光层(6);
(5)将透明导电电极材料蒸镀到有机发光层(6)上作为漏极(7),从而完成整个场效应发光管器件的制备。
4.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于基片(1)可以是柔性衬底,也可以是刚性衬底;在基片(1)上蒸镀的导电电极作为场效应发光管的源极(2),导电电极可以是金属电极,也可以是合金电极。
5.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于也可用电子束蒸发、磁控溅射、分子束外延和激光脉冲沉积的方法来制备无机半导体薄膜层(3)。
6.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于栅极(4)可以由单层金属及多层金属构成,也可以由单层金属合金及多层金属合金构成。
7.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于可将半导体层及有机发光层优化为多层薄膜组合,采用如下镀膜方式:
[1]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/无机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);
[2]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);
[3]衬底(1)/源极(2)/有机半导体层(3)/栅极(4)/无机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);
[4]衬底(1)/源极(2)/无机组合层(3)/栅极(4)/无机组合层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);
[5]衬底(1)/源极(2)/有机-无机组合层(3)/栅极(4)/有机-无机组合层(5)/有机发光层(6)/漏极(7)。
以上的有机发光层是以传输电子为主的发光材料,而相应的半导体层(或组合层)3和5应为以传输空穴为主的材料。
8.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于如果有机发光层是以传输空穴为主的发光材料,则半导体层(5)和有机发光层(6)的镀膜顺序要互换(而相应的半导体层(或组合层)3和5应为以传输电子为主的材料),采用如下镀膜方式:
[1]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机半导体层(6)/漏极(7);
[2]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/有机半导体层(6)/漏极(7);
[3]衬底(1)/源极(2)/有机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机半导体层(6)/漏极(7);
[4]衬底(1)/源极(2)/无机组合层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机组合层(6)/漏极(7);
[5]衬底(1)/源极(2)/有机-无机组合层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/有机-无机组合层(6)/漏极(7)。
9.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于漏极(7)是透明和半透明的电极。
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H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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