[发明专利]底端为源极的垂直构型场效应发光管及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200710100157.1 申请日: 2007-06-05
公开(公告)号: CN101075662A 公开(公告)日: 2007-11-21
发明(设计)人: 杨盛谊;娄志东;杜文树;齐洁茹;邓振波 申请(专利权)人: 北京交通大学
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L51/56
代理公司: 北京市商泰律师事务所 代理人: 齐玲;毛燕生
地址: 100044*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 底端 垂直 构型 场效应 发光 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种底端为源极的垂直构型场效应发光管,其特征在于其采用垂直结构,即:

在基片(1)上,有导电源极(2);

在导电源极(2)上有半导体层(3);

在半导体层(3)上有导电栅极(4);

在导电栅极(4)上有半导体层(5)和有机发光层(6);

在有机发光层(6)上有透明导电漏极(7)。

2.根据权利要求1所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管,其特征在于除了导电电极外,场效应发光管器件中的半导体层均可以是有机层、无机层以及有机/无机层的组合。

3.一种底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于其制备方法如下:

(1)清洗基片(1),然后在其上蒸镀导电电极作为场效应发光管的源极(2);

(2)通过热蒸发或甩膜等方法将有机半导体材料(3)制备到源极(2)上;

(3)利用热蒸发等方法并通过掩模板将导电电极蒸镀到半导体层(3)上,形成一定厚度的导电层作为栅极(4);

(4)用热蒸发等方法在栅极(4)上蒸镀半导体层(5)和有机发光层(6);

(5)将透明导电电极材料蒸镀到有机发光层(6)上作为漏极(7),从而完成整个场效应发光管器件的制备。

4.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于基片(1)可以是柔性衬底,也可以是刚性衬底;在基片(1)上蒸镀的导电电极作为场效应发光管的源极(2),导电电极可以是金属电极,也可以是合金电极。

5.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于也可用电子束蒸发、磁控溅射、分子束外延和激光脉冲沉积的方法来制备无机半导体薄膜层(3)。

6.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于栅极(4)可以由单层金属及多层金属构成,也可以由单层金属合金及多层金属合金构成。

7.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于可将半导体层及有机发光层优化为多层薄膜组合,采用如下镀膜方式:

[1]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/无机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);

[2]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);

[3]衬底(1)/源极(2)/有机半导体层(3)/栅极(4)/无机半导体层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);

[4]衬底(1)/源极(2)/无机组合层(3)/栅极(4)/无机组合层(5)/有机发光层(6)/漏极(7);

[5]衬底(1)/源极(2)/有机-无机组合层(3)/栅极(4)/有机-无机组合层(5)/有机发光层(6)/漏极(7)。

以上的有机发光层是以传输电子为主的发光材料,而相应的半导体层(或组合层)3和5应为以传输空穴为主的材料。

8.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于如果有机发光层是以传输空穴为主的发光材料,则半导体层(5)和有机发光层(6)的镀膜顺序要互换(而相应的半导体层(或组合层)3和5应为以传输电子为主的材料),采用如下镀膜方式:

[1]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机半导体层(6)/漏极(7);

[2]衬底(1)/源极(2)/无机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/有机半导体层(6)/漏极(7);

[3]衬底(1)/源极(2)/有机半导体层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机半导体层(6)/漏极(7);

[4]衬底(1)/源极(2)/无机组合层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/无机组合层(6)/漏极(7);

[5]衬底(1)/源极(2)/有机-无机组合层(3)/栅极(4)/有机发光层(5)/有机-无机组合层(6)/漏极(7)。

9.根据权利要求3所述的底端为源极的垂直构型场效应发光管的制备方法,其特征在于漏极(7)是透明和半透明的电极。

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