[发明专利]半导体封装结构及其形成方法有效

专利信息
申请号: 200710100856.6 申请日: 2007-04-20
公开(公告)号: CN101170088A 公开(公告)日: 2008-04-30
发明(设计)人: 吴俊毅 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/48 分类号: H01L23/48;H01L23/14
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 陈晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 半导体 封装 结构 及其 形成 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体封装结构,包括:

第一基板层,其成分包括合金42材料;

晶粒,附着于该第一基板层的第一侧面上;及

互连线结构,位于该晶粒上,其中该互连线结构包括插塞及连接该晶粒的导线。

2.如权利要求1所述的半导体封装结构,其还包括第二基板层,该第二基板层成分包括合金42材料,位于该第一基板层的第一侧面上,其中该品粒形成于该第二基板层的开口中。

3.如权利要求1所述的半导体封装结构,其还包括额外的电子元件,附着于该第一基板层的第一侧面上且连接到该互连线结构。

4.如权利要求1所述的半导体封装结构,其中该互连线结构包括插塞以直接连接到该晶粒。

5.如权利要求1所述的半导体封装结构,其中该第一基板层相对于该第一侧面的第二侧面不含互连线结构。

6.一种半导体封装结构,包括:

第一基板层,其成分包括合金42材料;

第二基板层,附着于该第一基板层的第一侧面上;

开口,位于该第二基板层中;

晶粒,位于该开口中,且附着于该第一基板层的第一侧面上;

第一绝缘层,位于该晶粒及第二基板层上;

多个第一插塞,位于该绝缘层中且实体性接触该晶粒;及

互连线结构,位于该第一绝缘层上,其中,该互连线结构包括:

第二绝缘层,

多个第二插塞及导线,位于该第二绝缘层中,其中至少有部分的第二插塞及导线连接到所述第一插塞;及

多个球栅阵列锡球,位于该互连线结构的上表面。

7.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第二基板层成分包括合金42材料。

8.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第一绝缘层包括ABF增层膜材料。

9.如权利要求6所述的半导体封装结构,其还包括额外的电子元件,附着于该第一基板层的第一侧面上,且通过第三插塞连接到该互连线结构,其中,该互连线结构和第三插塞间的连接不含凸块。

10.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第一基板层相对于该第一侧面的第二侧面不含互连线结构。

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