[发明专利]半导体封装结构及其形成方法有效
申请号: | 200710100856.6 | 申请日: | 2007-04-20 |
公开(公告)号: | CN101170088A | 公开(公告)日: | 2008-04-30 |
发明(设计)人: | 吴俊毅 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/14 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 结构 及其 形成 方法 | ||
1.一种半导体封装结构,包括:
第一基板层,其成分包括合金42材料;
晶粒,附着于该第一基板层的第一侧面上;及
互连线结构,位于该晶粒上,其中该互连线结构包括插塞及连接该晶粒的导线。
2.如权利要求1所述的半导体封装结构,其还包括第二基板层,该第二基板层成分包括合金42材料,位于该第一基板层的第一侧面上,其中该品粒形成于该第二基板层的开口中。
3.如权利要求1所述的半导体封装结构,其还包括额外的电子元件,附着于该第一基板层的第一侧面上且连接到该互连线结构。
4.如权利要求1所述的半导体封装结构,其中该互连线结构包括插塞以直接连接到该晶粒。
5.如权利要求1所述的半导体封装结构,其中该第一基板层相对于该第一侧面的第二侧面不含互连线结构。
6.一种半导体封装结构,包括:
第一基板层,其成分包括合金42材料;
第二基板层,附着于该第一基板层的第一侧面上;
开口,位于该第二基板层中;
晶粒,位于该开口中,且附着于该第一基板层的第一侧面上;
第一绝缘层,位于该晶粒及第二基板层上;
多个第一插塞,位于该绝缘层中且实体性接触该晶粒;及
互连线结构,位于该第一绝缘层上,其中,该互连线结构包括:
第二绝缘层,
多个第二插塞及导线,位于该第二绝缘层中,其中至少有部分的第二插塞及导线连接到所述第一插塞;及
多个球栅阵列锡球,位于该互连线结构的上表面。
7.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第二基板层成分包括合金42材料。
8.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第一绝缘层包括ABF增层膜材料。
9.如权利要求6所述的半导体封装结构,其还包括额外的电子元件,附着于该第一基板层的第一侧面上,且通过第三插塞连接到该互连线结构,其中,该互连线结构和第三插塞间的连接不含凸块。
10.如权利要求6所述的半导体封装结构,其中该第一基板层相对于该第一侧面的第二侧面不含互连线结构。
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