[发明专利]位移传感器及其制造方法

权利要求书

1、一种微机械，包括：

由导体形成的可动部分；和

由导体形成的支撑部分，

其中该可动部分和该支撑部分彼此分隔，

绝缘层提供在该导体上，

导电层提供在该绝缘层上，并且

该导电层形成为跨过该可动部分和该支撑部分。

2、一种位移传感器，包括：

下基板，具有第一电极部分；

上基板，具有第二电极部分；

振动器，通过弹性梁部分移动地支撑，并且由在该下基板和该上基板之间的中间基板形成，该中间基板具有三层结构，包括第一导电层、绝缘层和第二导电层；

支撑部分，由该第一导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，并且支撑该梁部分；和

导通部分，由该导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，与该支撑部分电隔离，并且引出该第一电极部分到该上基板，

由此该振动器的位移通过该第一电极部分和该第二电极部分检测，以检测角速度和加速度中的至少一个，

其中该第二导电层设置成跨过该导通部分和该支撑部分。

3、一种位移传感器，包括：

下基板，具有第一电极部分；

上基板，具有第二电极部分；

振动器，通过弹性梁部分可移动地支撑，并且由在该下基板和该上基板之间的中间基板形成，该中间基板具有三层结构，包括第一导电层、绝缘层和第二导电层；

支撑部分，由该第一导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，并且支撑该梁部分；和

导通部分，由该第一导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，与该支撑部分电隔离，并且引出该第一电极部分到该上基板，

由此该振动器的位移通过该第一电极部分和该第二电极部分检测，以检测角速度和加速度中的至少一个，

其中该导通部分通过从该支撑部分延伸的该第二导电层支撑。

4、一种制造位移传感器的方法，该位移传感器包括具有第一电极部分的下基板、具有第二电极部分的上基板、通过弹性梁可移动支撑的振动器、用于支撑该梁的支撑部分和用于引出该第一电极部分到该上基板的导通部分，该振动器、支撑部分和导通部分利用在该下基板和该上基板之间的中间基板形成，该中间基板具有三层结构，包括第一导电层、绝缘层和第二导电层，因此该振动器的位移用该第一电极部分和该第二电极部分检测，以检测角速度和加速度中的至少一个，该方法包括的步骤为：

将该第一导电层构图，以形成彼此分隔的该振动器的下区域、该支撑部分的下区域和该导通部分的下区域；

将该第二导电层构图，以形成该梁部分的区域和该振动器的上区域，并且彼此电隔离地形成该支撑部分的上区域和该导通部分的上区域，从而该支撑部分的上区域和该导通部分的上区域中任一个都从该支撑部分的下区域上面延伸到该导通部分的下区域上面；并且

将该下基板和该上基板与该中间基板结合。