[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件

说明书

技术领域

本发明涉及图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件。

背景技术

近几年，在搭载半导体元件等电子零件的电路组件中，公知具有玻璃陶瓷构成的低温煅烧陶瓷多层基板(Low Temperature Co-fired Ceramics，即LTCC多层基板)。LTCC多层基板由于可以在900℃以下的低温煅烧层叠的印刷电路基板(green sheet)，故可以对内部布线使用银或金等低熔点金属，可以实现内部布线的低电阻化。

在这种LTCC基板的制造工序中，利用金属膏或金属墨，在层叠前的各印刷电路基板上描绘布线图案。作为该描绘方法，专利文献1提出了一种将金属墨作为微小液滴喷出的、所谓喷墨法。由于喷墨法是接合微小的液滴来描绘布线图案，故可以针对内部布线的设计变更(例如内部布线的高密度化或布线宽度及布线间距的狭小化)迅速地对应。

但是，弹落到印刷电路基板上的液滴根据印刷电路基板的表面状态或液滴的表面张力，经常改变尺寸或形状。尺寸或形状改变的液滴根据干燥的定时来规定布线图案的尺寸。例如由外径为30μm的金属墨构成的液滴弹落在亲液性的印刷电路基板上，若经过10毫秒，则外径扩展到70μm，若经过200毫秒，则外径进一步扩展到100μm。因此，若液滴的干燥定时零散分布在100毫秒后～200毫秒后的范围内，则对应的布线图案的线宽零散分布在约70μm～100μm的范围内。

因此，在这种液滴的干燥方法中，为了抑制图案尺寸的参差不齐，提出对弹落在印刷电路基板上的液滴照射激光的激光干燥。在激光干燥中，仅在激光的照射区域内进行液滴的干燥处理。因此可以高精度地控制弹落的液滴的干燥定时，可以抑制图案尺寸的参差不齐。

然而，在喷墨法中使用的液滴喷出装置中，一般为了确保液滴的弹落精度，使液滴喷出头与对象物之间的间隙狭窄为几百μm。因此，在干燥位于液滴喷出头正下方的液滴时，必须在液滴喷出头与对象物之间的狭窄间隙内照射沿对象物的近似切线方向的激光。结果，形成于对象物的激光的光截面(束斑点(beam spot))扩大，无法确保使液滴干燥所需的激光的强度。因此导致液滴的干燥不足，有可能带来图案的形成不良。

发明内容

本发明正是为了解决上述问题的发明，其目的在于提供一种可以提高液滴的干燥效果并可以降低由液滴构成的图案的形成不良的图案形成方法、液滴喷出装置及电路组件。

本发明的图案形成方法将图案形成材料形成为液滴喷到基板上，对弹落在所述基板上的液滴进行干燥，在所述基板上形成图案，该图案形成方法构成为：将激光源所射出的激光照射到液滴的区域，并且将从液滴的区域反射或散射的激光再次反射照射到液滴的区域，使液滴干燥。

根据本发明的图案形成方法，从液滴的区域反射或散射的激光被再次反射照射到液滴的区域。由此，可以提高液滴的干燥效率，可以避免液滴的干燥不足，可以消除图案的形成不良。

再有，也可以构成为：沿扫描方向相对于激光对弹落在所述基板上的液滴进行扫描，照射所述激光源所射出的激光的区域、和反射照射从液滴的区域反射或散射的激光的区域，在所述扫描方向上位于不同的位置。

根据该图案形成方法，从液滴的区域反射或散射的激光、和来自激光源的激光照射扫描方向上不同的位置。结果，在扫描液滴的过程中，可以对液滴的区域实施多次激光照射。而且，即使在反射照射后的激光再次被液滴的区域反射的情况下，也可以抑制该被反射的激光侵入激光源侧。因此，可以稳定激光的照射动作，在体现更高再现性的条件下，可以提高液滴的干燥效率。

还有，在该图案形成方法中，也可以构成为：沿扫描方向相对于激光对弹落在所述基板上的液滴进行扫描，将所述激光源所射出的激光会聚到所述扫描方向上，照射到液滴的区域，并且将从液滴的区域反射或散射的激光会聚到所述扫描方向上，再次照射到液滴的区域。

根据该图案形成方法，会聚于扫描方向的多条激光照射液滴的区域。结果，仅使激光会聚于扫描方向，即可进一步提高液滴的干燥效率，而不会降低激光对液滴的照射精度。结果，可以更可靠地消除图案的形成不良。

本发明的液滴喷出装置，其具备液滴喷出头，该液滴喷出头将图案形成材料形成为液滴喷到基板上，该液滴喷出装置包括：第一照射单元，其向弹落在所述基板上的液滴的区域照射激光源所射出的激光；和第二照射单元，其将从所述液滴的区域反射或散射的激光再次反射照射到液滴的区域。