[发明专利]使用第一最小值底部抗反射涂层组合物制备图像的方法无效
| 申请号： | 200710101248.7 | 申请日： | 2003-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN101034259A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | M·O·尼瑟尔;J·E·奥伯兰德;M·A·图卡伊;R·萨卡穆里;李丁术季 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料日本株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 第一 最小值 底部 反射 涂层 组合 制备 图像 方法 | ||
【说明书】：
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