[发明专利]检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，包括：

传输线，用于传播电磁波；

电磁波提供单元，用于向传输线提供电磁波，该电磁波的频率范围在30GHz到30THz之间；

电磁波检测单元，用于检测来自传输线的电磁波；

导电区域，布置在包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上；

检查对象提供单元，用于保持检查对象并向外提供该检查对象；以及

沉积单元，用于通过静电力将从检查对象提供单元提供的检查对象选择性地沉积在所述导电区域上，

其中，由电磁波检测单元检测从电磁波提供单元提供并通过所述传输线传播的电磁波，以获得该检查对象的信息。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中所述导电区域包括用作所述传输线的信号线的金属区域。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其中所述检查对象提供单元包括用于使检查对象在空间中飞行以提供该对象的单元。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其中所述沉积单元具有用于通过在检查对象提供单元的检查对象保持部分和所述导电区域之间施加电压而产生电场的单元。

5.根据权利要求4所述的检查装置，还包括准直电极，设置在所述导电区域和检查对象提供单元的检查对象保持部分之间，以便将检查对象的提供状态聚集在所述导电区域。

6.根据权利要求1所述的检查装置，还包括湿度控制单元，用于调节被提供了检查对象的空间和所述导电区域周围的空间的湿度，以便在检查对象沉积在导电区域上时控制干燥状态。

7.一种检测通过传输线传播的、频率范围在30GHz到30THz之间的电磁波以获得沉积在导电区域上的检查对象的信息的检查方法，该导电区域位于包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上，该方法包括：

从用于保持检查对象并向外提供检查对象的检查对象提供单元提供检查对象；

在所述导电区域和检查对象提供单元的检查对象保持部分之间施加电压以产生电场；以及

通过静电力引导所提供的检查对象，以将检查对象选择性地沉积在所述导电区域上。

8.根据权利要求7所述的检查方法，其中通过随着时间的流逝连续或间断地获得所检测到的电磁波的信号的与检查对象在所述导电区域上的沉积量的时间变化对应的多个变化，来获得检查对象的信息。

9.根据权利要求8所述的检查方法，还包括当相对于时间的流逝所检测到的电磁波的信号的变化率变小时，或者当估计该变化率变小时，停止提供检查对象。

10.根据权利要求7所述的检查方法，其中通过在将要施加在检查对象提供单元的检查对象保持部分上的电压上叠加交流分量以改变检查对象在所述导电区域上的沉积速度，并利用这一改变进行同步检测，来获得检查对象的信息。