[发明专利]用于扫描探测器显微镜的自找正的扫描探测器

权利要求书

1.扫描探测器(1)，用于替代地应用于扫描探测器显微镜中，该扫描探测器具有微悬臂梁(4)，在其一个端部(5)上设置有用于扫描试样的扫描尖端(6)，并且在其另一端部(13)上设置有固定部件(2)，该固定部件用于在固定于探测器夹持装置上的支承部件(3)上将扫描探测器(1)可拆卸地进行固定，其中在固定部件(2)和支承部件(3)上各自构造有对应的找正机构(8、8’、8”)、(16、16’、16”)，它们将固定部件(2)在同支承部件(3)相耦合时自动地可重复地相对探测器夹持装置进行找正，其特征在于，所述扫描探测器(1)的微悬臂梁(4)具有不同的长度(14)，并且扫描尖端(6)和固定部件(2)的确定的基点(9)之间的相应距离(12)构造为恒定的。

2.按照权利要求1所述的扫描探测器，其特征在于，对于所述扫描探测器(1)，在固定部件(2)的确定的基点(9)和固定部件(2)的前面的、对应于微悬臂梁(4)的棱边(23)之间的相应距离(24)与所述微悬臂梁(4)的长度(14)无关地变化地构造。

3.按照权利要求1或2所述的扫描探测器，其特征在于，所述扫描探测器(1)具有从扫描尖端(6)直到固定部件(2)的后面的、远离微悬臂梁(4)的棱边(21)的相同长度(20)。

4.制造用于扫描探测器显微镜的扫描探测器(1)的方法，该扫描探测器(1)具有不同长度(14)的微悬臂梁(4)，在其一个端部(5)上设置有用于扫描试样的扫描尖端(6)，并且在其另一端部(13)上设置有固定部件(2)，该固定部件用于在固定于探测器夹持装置上的支承部件(3)上将扫描探测器(1)可拆卸地进行固定，其中在固定部件(2)和支承部件(3)上各自构造有对应的找正机构(8、8’、8”)、(16、16’、16”)，它们将固定部件(2)在同支承部件(3)相耦合时自动地可重复地相对探测器夹持装置进行找正，其中尤其扫描探测器(1)的扫描尖端(6)位置准确地相对探测器夹持装置被定位，具有下列步骤：

A.设计和制造可共同使用的支承部件(3)，该支承部件(3)带有使具有不同悬臂梁长度(14)的扫描探测器(1)进行精确找正的找正机构(16、16’、16”)；

B.在形成了对应于支承机构(3)的找正机构(16、16’、16”)的找正机构(8、8’、8”)情况下，设计固定部件(2)的对置于支承部件(3)的后面部分；

C.在固定部件(2)的找正机构(8、8’、8”)周围的区域内对确定的基点(9)进行规定，在微悬臂梁(4)的长度(14)变化的情况下，所述扫描尖端(6)相对该基点有规定的、恒定的距离(12)；

D.在前面的、朝向扫描尖端(6)的棱边(23)和固定部件(2)的基点(9)的距离(24)变化的情况下，设计固定部件(2)的对应于微悬臂梁(4)的前面部分，直到形成微悬臂梁(4)的期望长度(14)；

E.设计在端部(5)上具有扫描尖端(6)的微悬臂梁(4)，其中扫描尖端(6)以相对固定部件(2)的基点(9)的规定距离(12)进行设置；并且

E.根据技术人员公知的工业制造方法来制造扫描探测器(1)。