[发明专利]印网掩模

说明书

技术领域

本发明涉及丝网印刷技术，特别是涉及在平板显示器面板上形成图形时适用的有效技术。

背景技术

在日本特开2003-291555号公报(专利文献1)中，说明了通过张力网(tension mesh)在张紧状态下将丝网(Screen mesh)支承在丝网支承框上的印刷用模版中，在上述丝网的印刷有效区域的周围，设置比上述印刷有效区域还高弹性率的边缘区域，在上述高弹性率的边缘区域的外周上，将上述丝网固定在张力网上的结构。

[专利文献1]日本特开2003-291555号公报

丝网印刷为通过滚压(用刮墨刀(squeegee)将印刷剂压出)油墨等印刷剂，使其通过丝网模版(stencil screen)，将所希望的图形复印在被印刷物上的孔部版印刷方式的一种，可在IC基板的电路配线的形成、PDP(等离子体显示面板)等平板显示面板的电极形成或荧光体层的形成等各种用途中利用。

特别是，在PDP的制造工序中，在电极形成工序或荧光体层形成工序等中适用丝网印刷技术，但近年来为了使显示器的显示面尺寸大型化，或使显示图象高精细化，要求使用大型的印网掩模(screen mask)进行高精度印刷的技术。

本发明者对利用印网掩模，进行高精度的印刷的技术进行研究，发现以下问题。

图9为表示现有技术中一般的印网掩模的结构的平面图，图10为表示利用树脂板固定图9所示的印网掩模的张力网的状态的平面图。

如图9所示，丝网印刷用的印网掩模具有作为印刷有效区域的丝网(也称为内纱)2，在丝网2的周围形成的张力网(也称为外纱)3，和以规定范围内的张力通过上述张力网3张紧、保持上述丝网2的版框5。

丝网2具有在刮墨刀滚压时使印刷剂通过用的多个孔部，在制版工序中，对在丝网2上，以规定图形作出开口部的印刷掩模进行制版。

因此，为了利用印网掩模进行高精度的印刷，必需提高上述制版工序的初期制版精度(按所希望的图形，对印刷掩模进行制版的精度)，同时提高进行刮墨刀滚压时的复印精度(通过印网掩模的孔部，将印刷剂涂布在被印刷物上的位置精度)。

当制造印刷掩模的版时，由张力网3的位置偏移引起的丝网2的位置偏移使初期制版精度降低。

因此，为了提高制版精度，如图10所示，通过利用树脂板4等固定形成在丝网2的周围的张力网3，抑制制造印刷掩模版的丝网2的位置偏移的方法是有效的。

但是，从本发明者的研究中发现，当利用固定有张力网3的印网掩模300进行丝网印刷时，由于作为印刷有效区域的丝网2因为刮墨刀的动作容易变形，复印精度比利用不固定张力网3的印网掩模100进行丝网印刷的情况低。

因此，不考虑张力网3的张紧力或与刮墨刀滚压时的方向交叉的方向上的丝网2、张力网3和树脂板4的长度关系，在简单地固定形成在丝网2周围的张力网3的情况下，初期制版精度能够提高，但由于复印精度降低，结果不能提高丝网印刷的精度。

特别是，由于印网掩模的平面尺寸越大，刮墨刀滚压时的丝网3的偏移越容易增大，在PDP制造等使用大型的印网掩模进行印刷的情况下，复印精度的降低成为大的问题。

发明内容

本发明的目的是要提供能够提高丝网印刷精度的技术。

本发明的上述以及其他目的与新颖性的特征，从本说明书的说明和附图中可以了解。

下面，简单地说明本申请所述的发明中有代表性的发明的概要。

即，本发明具有如下结构，包括具有平面方向的张紧力范围为196～392N/mm的丝网；平面方向的张紧力范围为49～98N/mm的张力网；以包围上述丝网的外周的方式进行配置，平面方向的张紧力范围为392～980N/mm，固定上述张力网的一部分的固定部；和版框，当进行丝网印刷时，与刮墨刀在上述丝网上擦动的方向交叉的第一方向上的上述丝网长度Ls为上述第一方向上的张力网长度Lt的0.6～0.9倍。当取系数a时，上述第一方向固定部的长度Lk、上述第一方向的上述丝网长度Ls与上述第一方向的张力网长度Lt的关系为Lk＝a(Lt+Ls)/2，上述系数a在0.5～1.2范围内。

下面，简单地说明由本申请所说明的发明中有代表性的发明得到的效果。

即、根据本发明，能够提高丝网印刷的印刷精度。

附图说明

图1为本发明的实施方式1的印网掩模的平面图；

图2为表示沿着图1所示的A-A线切断状态的截面图；

图3为放大图2所示的印网掩模的丝网和张力网的接合部分周边的放大截面图；