[发明专利]利用喷砂形成等离子体显示面板的间隔壁的形成方法

说明书

本申请是申请号“02807991.4”、申请日“2002年4月3日”、发明名称“利用喷砂形成等离子体显示面板的间隔壁的形成方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种制造在显示区域内具有间隔壁的等离子体显示面板(Plasma Display Panel：PDP)用的间隔壁的形成方法，利用喷砂法形成间隔壁。

背景技术

用于彩色显示的面放电型PDP，具有防止相邻的单元之间的放电干扰用的间隔壁。对于间隔壁的配置图形，有将显示区域划分成矩阵显示列(column)的带状图形，划分成单元的网格图形。在采用带状图形的情况下，将平面视图中带状的间隔壁配置在显示区域。在采用网格状图形的情况下，将具有分别包围全部单元的平面视图形状的间隔壁(所谓ポツクスリプ)配置在显示区域内。

一般地，间隔壁是低熔点的玻璃烧结体，用喷砂法形成。图12表示现有技术的间隔壁的形成方法。在该图中的间隔壁图形是带状图形。间隔壁按以下步骤形成。(A)在玻璃基板101涂布均匀厚度的低熔点玻璃糊剂使之干燥，用作为掩模材料的感光性抗蚀剂膜103a被覆由干燥的糊剂构成的层状的间隔壁材料102a。(B)利用包括图形曝光和显影的光刻法，形成对应于间隔壁的图形的掩模103。(C)喷射切削材料切削掉间隔壁材料102a所没有掩模的部分。这时，沿着掩模图形中多个带的长度方向使喷射喷嘴往复移动，均匀地一点一点地挖掉很宽的范围内的间隔壁材料102a。(D)除去已形成图形的间隔壁材料102b上残留的掩模103。(E)通过烧结间隔壁材料102b获得间隔壁112。在烧结过程中，伴随着粘结剂的消失，间隔壁材料102b的体积减少。

如图12(C)所示，在喷砂过程中，在掩模103的喷嘴移动方向的端部，间隔壁材料102b被向掩模103的下方挖入产生侧面切削。这是因为，从喷嘴喷射出来的切削材料的一部分在玻璃基板101上反射，并且，通过与喷嘴中出来的切削材料碰撞，具有与喷嘴移动方向平行的移动成分，具有这种成分的切削材料挖掘间隔壁的端部。切削速度越高，侧面切削的量越大。可以认为，其原因是，在单位时间内切削材料的喷出量增大的情况下，上述成分的比例增加。下面，将引起侧面切削的上述成分称之为喷流。这种侧面切削，会引起作为图形成形不良的原因的切削过程中的掩模的剥离。此外，侧面切削妨碍形成均匀高度的间隔壁112。如图12(D)所示，当烧结端面弯曲的间隔壁材料102b时，如图12(E)所示，间隔壁112的端部比其它部分高。具体地说，在高度的设计值为140μm的间隔壁中，在烧结前约具有200μm的高度，通过烧结，高度约减少到70％，同时，端部比其它部分高出约30μm。这种现象称之为“上冲”，这是由于其底部贴紧在玻璃基板101上，其收缩受到约束，与此相对的，其顶部是自由的造成的。上冲在将具有间隔壁112的基板和其它基板重叠组装成PDP时，会使基板彼此之间不能完全贴紧。在本应贴紧的面之间有间隙的PDP中，随着外加用于显示的高频驱动电压造成的静电吸引，基板会局部地振动。由此，产生微小的动作噪音(蜂鸣音)。通过对面板各部分的上冲量的相关研究发现，这种现象，通过将上冲量降低到目前的1/2、即16μm以下，从制造偏差的角度考虑，优选地降低到12μm以下，可以防止这种现象。

发明内容

本发明的目的是，形成一种不会产生妨碍基板彼此之间贴紧的突起的、在显示区域形成一种图形和高度符合设计要求的间隔壁。

根据发明的间隔壁的形成方法，在通过部分地将切削材料喷射到形成掩模的间隔壁材料上形成图形时，以在显示区域的外侧形成与显示区域中的间隔壁(主间隔壁)连接的副间隔壁的方式将间隔壁材料掩蔽，借此，使得在显示区域的外侧产生侧面切削，并且，通过将副间隔壁制成网格状图形将易于侧面切削的部位处在很宽的范围内，降低侧面切削的深度。如果侧面切削是轻微的话，则难于引起剥离，并且在烧结时几乎没有上冲。