[发明专利]着色光敏树脂组合物、彩色滤光片、图像传感器和照相机系统

说明书

                      发明背景

技术领域

本申请已经提交要求基于日本专利申请号2006-143553巴黎公约优先权(2006-5-24日申请，题目为“着色光敏树脂组合物、彩色滤光片、图像传感器和照相机系统”)，该申请说明书的全部内容在此完全并入本申请的说明书中作为参考。

本发明涉及着色光敏树脂组合物、彩色滤光片、图像传感器和照相机系统。

相关技术说明

数字照相机和数字电视中所用的图像传感器中含有彩色滤光片。

作为生产彩色滤光片的方法，迄今已经开发了多种方法用于生产彩色滤光片，通过使用光敏树脂组合物的光刻法，通过混合光致抗蚀剂代表的光敏树脂组合物和着色材料如色素和染料制得光敏树脂组合物(参见，例如日本未审查的专利公开(Kokai)号-127602，第6页右下栏第15行至第25页左下栏第14行，日本未审查专利公开(Kokai)号4-283701，第2页右下栏第3行至第38页右下栏第43行，日本未审查专利公开(Kokai)号2002-14220，第3页右下栏第19行至第11页右下栏第15行)。

上述方法使彩色滤光片作为象素的聚集体成为可能，各自采用着色材料如色素和染料着色成三种基本的颜色的光(红色、绿色和蓝色)。

含有常规已知的染料的着色光敏树脂组合物，具有这样的问题，当组合物储藏之后在图象接受投射曝光时，与储藏之前的曝光量相比，所需的曝光量显著地变化。因此，使用染料的着色光敏树脂组合物产生的问题是，其不可能形成期望曝光量的象素。

                      发明概述

本发明的目的是提供一种着色光敏树脂组合物，在着色光敏树脂组合物的储藏之前和之后使用该组合物形成图象的情况下，其引起曝光量的微小的变化；使用着色光敏树脂组合物制造的彩色滤光片；含有彩色滤光片的图像传感器；及含有图像传感器的照相机系统。

本发明人透彻地研究，以解决了上述问题，并发现，使用含有染料(其包含特殊化合物)的着色光敏树脂组合物，当组合物在储藏之前和之后图象接受投射曝光时，曝光量的变化减少了。

更确切地说，本发明提供了一种着色光敏树脂组合物，其含有染料、光酸产生剂、固化剂、碱性的可溶性树脂、溶剂和式(I)表示的化合物：

在式(I)中，R¹-R³各自独立表示氢原子、具有1-6个碳原子的直链烷基、具有3-12个碳原子的支链烷基、具有3-6个碳原子的环烷基或具有6-12个碳原子的芳基，假如R¹至R³中至少一个表示非氢原子的基团，那么具有1-6个碳原子的直链烷基的一个氢原子、具有3-12个碳原子的支链烷基上的一个氢原子、环烷基上的一个氢原子和芳基上的一个氢原子可用羟基取代。

本发明还提供了使用着色光敏树脂组合物制造的彩色滤光片，含有彩色滤光片的图像传感器，及含有图像传感器的照相机系统。

使用本发明的着色光敏树脂组合物，在组合物储藏之后图象接受投影曝光，与储藏，之前的组合物的曝光量相比，在组合物储藏，之后曝光量没有显著的改变，因此图像传感器和照相机系统可以是稳定地生产。

                     附图简述

图1显示了CCD图像传感器的横截面结构。

图2显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图3显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图4显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图5显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图6显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图7显示了制造彩色滤光片排列的方法的过程。

图8显示了CMOS图像传感器的横截面结构。

图9显示了照相机系统的结构图。

[参考符号的简述][M1]

1：             硅衬底

2，32：         光电二极管

3：             直立电荷转移部分

4：             直立电荷转移电极

5，37：         绝缘膜

6：             光屏蔽膜

7，36：         BPSG膜

8，38：         P-SiN膜

9，39：         平折薄膜(1)

10，40：        彩色滤光片排列