[发明专利]一氧化碳气体传感器的制备方法及一氧化碳气体传感器

权利要求书

1.一种一氧化碳气体传感器的制备方法，包括下列步骤：

提供一具有一上表面的基板；

形成二组电极于该基板上表面；

形成一个氧化锡层，且该氧化锡层覆盖该二组电极部分与该基板上表面部分；以及

形成一有机聚合物层于该氧化锡层表面；所述有机聚合物层为聚乙二醇层或丙烯酰胺层。

2.如权利要求1所述的制备方法，其中，该二组电极由网印方式形成。

3.如权利要求1所述的制备方法，其中，该氧化锡层由电浆辅助沉积法形成。

4.如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法所应用的电浆功率介于25至150瓦之间。

5.如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法所应用的反应气体至少包括氧气及四甲基锡。

6.如权利要求3所述的制备方法，其中，该电浆辅助沉积法应用低温电浆。

7.如权利要求1所述的制备方法，其中，该聚乙二醇层由旋转涂布法形成。

8.如权利要求7所述的制备方法，其中，该旋转涂布法所应用的转速介于800至1500rpm之间。

9.如权利要求7所述的制备方法，其中，该旋转涂布法是应用聚乙二醇溶液，且该聚乙二醇溶液的浓度介于1至12w.t.％之间。

10.如权利要求9所述的制备方法，其中，该聚乙二醇溶液的聚乙二醇的分子量介于200至20000之间。

11.如权利要求1所述的制备方法，其中，该丙烯酰胺层由紫外光接枝聚合法形成。

12.如权利要求11所述的制备方法，其中，该紫外光接枝聚合法所应用的紫外光的功率介于900至1100瓦之间。

13.如权利要求11所述的制备方法，其中，该紫外光接枝聚合法是应用丙烯酰胺溶液，且该丙烯酰胺溶液的浓度介于8至12w.t.％之间。

14.一种一氧化碳气体传感器，包括：

一具有一上表面的基板；

二组电极，位于该基板上表面；

一个氧化锡层，覆盖该二组电极部分与该基板上表面部分；以及

一有机聚合物层，位于该氧化锡层表面；所述有机聚合物层为聚乙二醇层或丙烯酰胺层。

15.如权利要求14所述的一氧化碳气体传感器，其中，该基板为氧化铝基板或碳基板。

16.如权利要求14所述的一氧化碳气体传感器，其中，该二组电极的材质为金。

17.如权利要求14所述的一氧化碳气体传感器，其中，该二组电极为梳型电极。

18.如权利要求14所述的一氧化碳气体传感器，其中，该氧化锡层的厚度介于40至1400nm之间。

19.如权利要求14所述的一氧化碳气体传感器，其中，该聚乙二醇层的厚度介于1000至1600nm之间。