[发明专利]用于测试大面积基板上电子器件的探针

说明书

技术领域

本发明的实施方式主要涉及基板的测试系统。更具体地，本发明涉及在平 板显示器制造中用于大面积基板的集成测试系统。

背景技术

平板显示器，有时称之为有源矩阵液晶显示器件(LCD)，近来已经越来 越普遍的成为过去的阴极射线管的替代品。与CRT相比，LCD具有数个优点， 包括较高的图片品质、较轻的重量、较低的电压需求和低能耗。例如，显示器 在计算机监测器、移动电话和电视中具有多种应用。

一种类型的有源矩阵LCD包括夹在薄膜晶体管(TFT)阵列基板和滤色 片基板之间以形成平板基板的液晶材料。一般地，TFT基板包括每个都耦合到 像素电极的薄膜晶体管阵列，滤色片基板包括不同颜色的滤色片部分和公共电 极。当供应一定的电压到像素电极时，在像素电极和公共电极之间产生电场， 定向液晶材料以使光线通过特定像素。使用的基板通常包括较大的表面面积， 并且许多独立的平板显示器在大面积基板上形成，随后在最终制造期间所述平 板显示器从基板分离。

部分制造工艺需要测试大面积基板以确在每个平板显示器中像素的可操 作性。电压成像、电荷感应、光学成像和电子束测试是用于在制造工艺期间监 视和检修缺陷的一些工艺。在典型的电子束测试工艺中，监控像素内的TFT 响应以提供缺陷信息。在电子束测试的一个实施例中，将一定的电压供应至 TFT，以及在调查研究中，可指引电子束至独立的像素电极。可感应从像素电 极区域发出的第二电子以确定TFT电压。

一般地，采用诸如探针组件的测试装置接触大面积基板上的导电区域施加 或感应来自TFT的电压。设计探针组件的大小以适于测试设置在基板上的平 板显示器的具体构造。探针组件典型地具有设计的大小等于或者大于基板尺寸 的面积，而该大面积的探针组件产生操作、传递和存储困难。一般地，还设计 探针组件以测试平板显示器或者产品的一个特定构造，其中只要产品不同就需 要不同的探针组件。由于制造商通常生产许多不同产品，这会增加所需探针组 件的数量，所述探针组件再次引起存储、传递和操作困难。

因此，需要一种在大面积基板上执行测试的能解决以上所述部分困难的探 针组件。

发明内容

在此描述的实施方式涉及在大面积基板上测试电子器件。在一个实施方式 中，描述了一种探针组件。该探针组件包括框架和可移动地连接到该框架的多 个接触头，其中在平行于该框架的方向、正交于该框架的方向、相对于该框架 有一角度的及上述组合的方向上独立定向各接触头。

在另一实施方式中，描述了探针组件。该探针组件包括框架和可移动地连 接到该框架的多个接触头组件，各接触头组件包括外壳和接触头，所述接触头 在下表面上设置有多个探针销，其中每个接触头组件相对于该框架的长度独立 地可移动，并且各接触头相对于该外壳可移动。

在另一实施方式中，描述了用于测试矩形且大面积基板的测试系统。该测 试系统包括设计大小以容纳基板的测试台，所述基板上有多个电子器件，以及 探针组件，所述探针组件具有适于选择性地接触在基板上的电子器件的多个接 触头，其中该探针组件沿着测试台的长度可移动。

附图说明

为了可以更详细地理解上述的本发明的特征，可参照实施方式对以上的简 要概括进行更加详细的描述，其中部分实施方式在附图中示出。然而，应该理 解附图仅示出了本发明的典型实施方式，因此不应理解为对本发明范围的限 定，因为本发明可承认其他等效的实施方式。

图1为测试系统的一个实施方式的等轴侧视图；

图2A是在图1中示出的测试系统的截面侧视图；

图2B是在图2A中示出的部分测试台的等轴侧视图；

图3A是基板和在基板上部的两个探针的一个实施方式的俯视截面图；

图3B是图3A的探针的测试位置的一个实施方式的截面俯视图；

图3C是图3A中示出的探针的测试位置的另一实施方式的俯视截面图；

图4A是接触头组件的一个实施方式的等轴侧视图；

图4B是接触头组件的一个实施方式的示意性侧视图；

图4C是图4B的接触头的等轴侧视图；

图5A是探针的另一实施方式的等轴侧视图；

图5B是探针的另一实施方式的等轴截面侧视图；