[发明专利]探针卡的固定机构、探针卡的固定方法以及探针装置

权利要求书

1.一种探针卡的固定机构，包括固定在探针装置的顶板的开口部的镶嵌垫环、由该镶嵌垫环可旋转地支撑的锁定环、从该锁定环径向延伸设置的杠杆和连接于该杠杆的延伸端部且设置于所述顶板上的驱动装置，通过由所述驱动装置向所述杠杆提供推压力而使所述锁定环旋转并举起探针卡，由所述锁定环与所述镶嵌垫环保持所述探针卡并固定所述探针卡，其特征在于：

所述驱动装置包括向所述杠杆提供推压力的弹簧机构和连接于该弹簧机构且使该弹簧机构伸缩的推压机构，所述推压机构在解除所述弹簧机构的压缩力时从所述弹簧机构向所述杠杆提供推压压力，并且使所述锁定环旋转。

2.如权利要求1所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

利用连接体连接所述弹簧机构和所述推压机构，同时，设置有引导所述连接体在所述弹簧机构的伸缩方向移动的引导部件。

3.如权利要求2所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

在所述连接体上设置闸门，同时，在所述引导部件的附近设置检测所述闸门的检测器，通过所述检测器检测到所述闸门时使所述推压机构停止，并通过所述弹簧机构固定所述探针卡。

4.如权利要求1～3中任一项所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

所述弹簧机构具有盘簧、贯通该盘簧且连接于所述连接体的轴和该轴贯通的且保持所述盘簧的保持件。

5.如权利要求4所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

所述盘簧由第一、第二盘簧组成。

6.如权利要求1～5中任一项所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

所述推压机构由缸体机构组成。

7.如权利要求6所述的探针卡固定机构，其特征在于：

所述缸体机构由具有排气速度控制功能的气缸组成。

8.如权利要求1～7中任一项所述的探针卡的固定机构，其特征在于：

所述探针卡具有卡保持件。

9.一种探针卡的固定方法，该探针卡包括固定在探针装置的顶板的开口部的镶嵌垫环、由该镶嵌垫环可旋转地支撑的锁定环、从该锁定环径向延伸设置的杠杆和连接于该杠杆的延伸端部的驱动装置，通过由所述驱动装置向所述杠杆提供推压力而使所述锁定环旋转并举起探针卡，由所述锁定环与所述镶嵌垫环保持所述探针卡并固定所述探针卡，其特征在于：

所述方法包括：在使用弹簧机构和向该弹簧机构提供压缩力的推压机构作为所述驱动装置固定所述探针卡时，通过所述推压机构解除所述弹簧机构的压缩力的工序；和通过解除所述弹簧机构的压缩力从所述弹簧机构向所述杠杆提供推压力的工序。

10.如权利要求9所述的探针卡的固定方法，其特征在于：

使用缸体机构作为所述推压机构。

11.如权利要求10所述的探针卡的固定方法，其特征在于：

使用具有控制排气速度的功能的气缸作为所述缸体机构。

12.如权利要求9～11中任一项所述的探针卡的固定方法，其特征在于：

通过卡保持件固定所述探针卡。

13.一种探针装置，包括装载被检查体的可移动的装载台、具有配置在该装载台的上方且与所述被检查体电气接触的多个探针的探针卡和在所述装载台的上方固定该探针卡的固定机构，其特征在于：

所述固定机构由权利要求1～8中任一项所述的探针卡的固定机构所构成。