[发明专利]用于形成图案的组合物及使用该组合物的面内印刷法

权利要求书

1.一种用于形成图案的组合物，包括：

按重量计10％到30％的具有亲水基的液态预聚物；

按重量计10％到20％的粘度调节剂；

按重量计1％到5％的光引发剂；和

添加剂，

其中，所述具有亲水基的液态预聚物包括八氟-2-羟基-6-庚基丙烯酸酯和八氟-2-羟基-6-三氟甲基庚基甲基丙烯酸酯之一。

2.如权利要求1所述的组合物，其特征在于，该粘度调节剂包括丙烯酸丁酯和甲基丙烯酸丁酯之一。

3.如权利要求1所述的组合物，其特征在于，还包括按重量计10％到20％的光反应剂。

4.如权利要求3所述的组合物，其特征在于，该光反应剂包括丙烯酸缩水甘油酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯之一。

5.如权利要求1所述的组合物，其特征在于，还包括按重量计10％到20％的热流衍生物。

6.如权利要求5所述的组合物，其特征在于，该热流衍生物包括聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯和聚甲基丙烯酸甲酯之一。

7.一种使用用于形成图案的组合物的面内印刷法，包括：

在基板上形成薄膜；

在该薄膜上形成该组合物的抗蚀剂层，其中该组合物包括：

按重量计10％到30％的具有亲水基的液态预聚物；

按重量计10％到20％的粘度调节剂；

按重量计1％到5％的光引发剂；和

添加剂，

其中，所述具有亲水基的液态预聚物包括八氟-2-羟基-6-庚基丙烯酸酯和八氟-2-羟基-6-三氟甲基庚基甲基丙烯酸酯之一；

在该抗蚀剂层上方设置模子；

朝着该抗蚀剂层按压该模子，并使光通过该模子照射该抗蚀剂层，以形成抗蚀剂图案；

将该模子从该抗蚀剂图案分离开；以及

利用该抗蚀剂图案作为蚀刻掩模蚀刻该薄膜，以形成薄膜图案。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，该模子包括聚二甲基硅氧烷、聚亚安酯丙烯酸盐和石英之一。