[发明专利]用于糊状物分配器的分配头单元

权利要求书

1.一种以给定图案在基板上分配糊状物的糊状物分配器，所述糊状物分配器包括：

工作台，其上安装有基板；

头部支撑框架，相对于所述工作台移动；

分配头单元，所述分配头单元包括分配头部，所述分配头部具有喷嘴，通过所述喷嘴在基板上分配糊状物，且所述分配头单元由所述头部支撑框架支撑，

其特征在于，所述分配头单元包括：

Y轴驱动单元，用于使所述分配头部沿Y轴方向移动，以便当所述基板相对于所述头部支撑框架以倾斜角度安装在所述工作台上时，补偿喷嘴的位置至其在基板上的设定位置；以及

Z轴驱动单元，连接至所述Y轴驱动单元，用于使所述Y轴驱动单元与所述分配头部一起沿Z轴方向移动。

2.根据权利要求1所述的糊状物分配器，其中，所述Y轴驱动单元包括：

固定件，固定于所述Z轴驱动单元并随所述Z轴驱动单元沿Z轴方向移动；

可移动件，相对所述固定件而安装于所述分配头部；

Y轴线性驱动单元，用于沿所述Y轴方向以直线移动所述可移动件；以及

线性运动引导件，用于沿直线引导所述可移动件的移动。

3.根据权利要求2所述的糊状物分配器，其中，所述Y轴线性驱动单元包括：

滚珠螺杆，连接至所述固定件；以及

电机，通过连接于所述滚珠螺杆的转动轴使所述滚珠螺杆转动。

4.根据权利要求2所述的糊状物分配器，其中，所述Y轴线性驱动单元包括线性电机。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的糊状物分配器，所述Y轴驱动单元进一步包括线性编码器，所述线性编码器用于检测所述可移动件的移动方向以及所述可移动件的行进距离。

6.根据权利要求5所述的糊状物分配器，其中，所述Y轴驱动单元包括：

传感元件，设置于所述可移动件和所述固定件中的任一个上；

第一限定传感器，在所述可移动件移动时检测所述传感元件是否到达第一限定点；以及

第二限定传感器，在所述可移动件移动时检测所述传感元件是否到达第二限定点。

7.根据权利要求1所述的糊状物分配器，进一步包括ZZ轴驱动单元，所述ZZ轴驱动单元沿Z轴方向移动所述分配头部，且设置在所述分配头部与所述Y轴驱动单元之间。

8.根据权利要求7所述的糊状物分配器，其中，所述ZZ轴驱动单元以小于所述Z轴驱动单元移动范围的范围移动所述分配头部。

9.根据权利要求1所述的糊状物分配器，其中，所述Z轴驱动单元设置于可沿X轴方向移动的所述头部支撑框架。