[发明专利]用于确定等离子体特性的方法

权利要求书

1.一种用于确定等离子体的特性的方法，包括：

获得耦合到等离子体的第一波形的电流和电压信息的度量；

获得耦合到所述等离子体的第二波形的电流和电压信息的度量，所述 第一和第二波形具有不同频率；

利用从每个不同频率的波形获得的度量确定所述等离子体的至少一个 特性。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

确定所述等离子体的离子质量。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述确定所述离子质量的步骤还包 括：

确定所述等离子体内离子质量物质的分布。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

确定所述等离子体的不对称性。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

确定所述等离子体的电子温度。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

确定所述等离子体内的电子-分子碰撞频率。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

利用与频率有关的模型分析所述等离子体。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述与频率有关的模型还包括：

所述等离子体的阻抗模型。

9.如权利要求1所述的方法，还包括：

利用用于维持所述等离子体的第一功率源生成所述第一波形；以及

利用用于控制所述等离子体的特性的功率源生成所述第二波形。

10.如权利要求1所述的方法，还包括：

利用用于维持所述等离子体的第一功率源生成所述第一波形；以及

利用并不明显改变所述等离子体的工作特性的低功率诊断源生成所述 第二波形。

11.如权利要求10所述的方法，其中利用所述低功率诊断源生成所述 第二波形的步骤还包括：

将约1mW到约10W之间的功率耦合到所述等离子体。

12.如权利要求1所述的方法，其中获得所述第二波形的度量的步骤 还包括：

获得等离子体谐波波形的度量。

13.如权利要求12所述的方法，其中获得所述第一波形的度量的步骤 还包括：

获得第二等离子体谐波波形的度量。

14.如权利要求12所述的方法，其中获得所述第一波形的度量的步骤 还包括：

利用用于维持所述等离子体的第一功率源生成所述第一波形。

15.如权利要求12所述的方法，其中获得所述第一波形的度量的步骤 还包括：

利用并不明显改变所述等离子体的工作特性的低功率诊断源生成所述 第一波形。

16.一种用于确定等离子体的特性的方法，包括：

提供作为频率函数的等离子体的等离子体阻抗模型；

测量耦合到所述等离子体的并且具有至少两个不同频率的多个波形的 电流和电压；以及

利用模型和测得的所述波形的电流和电压确定等离子体的离子质量。

17.如权利要求16所述的方法，其中所述确定步骤还包括：

利用模型和测得的所述波形的电流和电压确定所述等离子体内电子-分 子碰撞频率。

18.如权利要求16所述的方法，其中所述测量步骤还包括：

测量谐波波形。

19.如权利要求16所述的方法，其中所述测量步骤还包括：

测量由并不明显改变所述等离子体的工作特性的低功率诊断源提供的 波形的度量。

20.如权利要求16所述的方法，其中所述测量步骤还包括：

测量由用于维持所述等离子体的多个RF功率源提供的波形的度量。