[发明专利]图案形成方法及其计算机可读介质

权利要求书

1.一种用于在对象物的表面上形成图案的图案形成方法，包括：

确定步骤，其确定所述对象物关于与所述对象物的相对移动方向垂直的方向的布置可用范围，以使最大数目的多个预定区域位于稳定曝光区域中，所述预定区域在所述对象物的表面上并沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向排列，各个所述稳定曝光区域沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向位于各个曝光区域的中心部分，沿所述对象物的所述相对移动方向限定所述曝光区域；以及

设定步骤，其在所确定的布置可用范围内设定所述对象物关于与所述相对移动方向垂直的方向的设置位置，以通过分别分配给所述曝光区域的多个空间光调制元件使位于所述稳定曝光区域中的所述预定区域曝光。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，还包括：

沿与所述相对移动方向垂直的方向从一侧依次对于所述各个预定区域执行计算处理，

其中，在所述计算处理中，在对于沿与所述相对移动方向垂直的方向与正在计算中的所述预定区域相邻的另一预定区域在前的计算处理中计算出的临时布置范围内计算所述对象物关于与所述相对移动方向垂直的方向的下述临时布置范围：在所述临时布置范围内，正在计算中的所述预定区域位于所述稳定曝光区域中，并且

将下述预定范围排除在对于接下来将要计算的所述临时布置范围的计算处理之外，当所述对象物临时设置于在前的计算处理中计算出的所述临时布置范围内时，所述预定范围不位于所述稳定曝光区域中，并且

其中，将下述临时布置范围确定为所述对象物的所述布置可用范围：所述临时布置范围是通过对于沿与所述相对移动方向垂直的方向排列在所述对象物的表面上的所有一系列预定范围执行所述计算处理而最终计算得出的。

3.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，

在所述对象物沿与所述相对移动方向垂直的方向移动的状态下，对于下述预定区域再次执行所述确定步骤：当所述对象物放置在所述设置位置时，所述预定区域不位于所述稳定曝光区域中，并且

在所确定的布置可用范围内重新设定所述对象物的用于使所述预定区域曝光的所述设置位置。

4.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，

所述预定区域存在于安装在所述对象物的表面上的各个小块中，并且

所述预定区域中的图案以比相同小块中除所述预定区域之外的区域的密度高的密度形成。

5.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，

所述预定区域沿与所述相对移动方向垂直的方向以大致均匀的间隔排列在所述对象物的表面上。

6.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，

所述稳定曝光区域由来自所述空间光调制元件的光稳定地曝光，所述光能够以高密度形成图案。

7.一种具有程序的计算机可读介质，所述程序包括允许计算机执行用于在对象物的表面上形成图案的图案形成处理的指令，所述指令包括：

确定步骤，其确定所述对象物关于与所述对象物的相对移动方向垂直的方向的布置可用范围，以使最大数目的多个预定区域位于稳定曝光区域中，所述预定区域在所述对象物的表面上并沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向排列，各个所述稳定曝光区域沿与所述对象物的所述相对移动方向垂直的方向位于各个曝光区域的中心部分，沿所述对象物的所述相对移动方向限定所述曝光区域；以及

设定步骤，其在所确定的布置可用范围内设定所述对象物关于与所述相对移动方向垂直的方向的设置位置，以通过分别分配给所述曝光区域的多个空间光调制元件使位于所述稳定曝光区域中的所述预定区域曝光。