[发明专利]光偏转器和使用光偏转器的光学仪器

权利要求书

1.一种光偏转器，包括：

支撑构件；

具有光偏转元件的第一活动元件；

至少一个第二活动元件；

至少一个配置为支撑所述第一和第二活动元件的第一扭转弹簧，用于围绕振荡轴的扭转振荡；

至少一个配置为支撑所述第二活动元件和所述支撑构件的第二扭转弹簧，用于围绕振荡轴的扭转振荡；以及

配置为向所述第一和第二活动元件中的至少一个施加驱动力的驱动系统；

其中所述光偏转器具有至少两个频率不同的固有振荡模式，

其中所述第二活动元件对所述振荡轴的转动惯量大于所述第一活动元件对所述振荡轴的转动惯量，并且

其中所述第二活动元件在垂直于振荡轴的方向上的长度等于或小于所述第一活动元件在垂直于振荡轴的方向上的长度。

2.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件在平行于振荡轴的方向上的长度小于所述第一活动元件在平行于振荡轴的方向上的长度。

3.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件的厚度大于所述第一活动元件的厚度。

4.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件由多个部件构成。

5.根据权利要求4所述的光偏转器，其中所述第二活动元件的部件设置为将振荡轴夹在中间。

6.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件的重心与振荡轴对齐。

7.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第一活动元件、所述第二活动元件、所述第一扭转弹簧、所述第二扭转弹簧以及所述支撑构件由单晶硅整体地制成。

8.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件对所述振荡轴的转动惯量是所述第一活动元件对所述振荡轴的转动惯量的四倍或更大。

9.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第二活动元件设置有永久磁体。

10.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述驱动系统配置为使所述第一活动元件同时以所述至少两个固有振荡模式围绕振荡轴扭转振荡。

11.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述第一活动元件和所述第二活动元件中的至少一个具有形成在远离振荡轴的端部的多个突起。

12.根据权利要求1所述的光偏转器，其中所述光偏转器具有一个频率是另一个频率的大致两倍或三倍的两个不同频率的固有振荡模式。

13.一种光学仪器，包括：

光源；

根据权利要求1所述的光偏转器；以及

感光构件和图像显示构件之一；

其中所述光偏转器配置为偏转来自所述光源的光，并将被偏转的光的至少一部分引向所述感光构件或图像显示构件。