[发明专利]测试密封的微机电系统装置中的湿度的系统和方法

说明书

技术领域

本发明的领域涉及微机电系统(microelectromechanical system，MEMS)。

背景技术

微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和/或其它蚀刻去除衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加工工艺来产生微机械元件。一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光学干涉原理选择性地吸收且/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，其中之一或两者可能整体或部分透明且/或具有反射性，且能够在施加适当电信号时进行相对运动。在特定实施例中，一个板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一个板可包括由气隙与固定层分离的金属薄膜。如本文更详细描述，一个板相对于另一个板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。这些装置具有广范围的应用，且在此项技术中，利用且/或修改这些类型装置的特性使得其特征可被发掘用于改进现有产品和创建尚未开发的新产品，将是有益的。

另外，在现有技术中，没有认识到在MEMS封装制造完成之后需要检查或测量MEMS装置内湿度(相对湿度)等级，以便(例如)估计装置的寿命或确定封装是否有缺陷。

发明内容

本发明的系统、方法和装置各具有若干方面，其中任何单个方面均不仅仅负责其期望的属性。在不限定本发明范围的情况下，现将简要论述其较突出的特征。考虑此论述之后，且尤其在阅读题为“具体实施方式”的部分之后，将了解本发明的特征如何提供优于其它显示装置的优点。

一个实施例提供一种测试湿度的方法。所述方法包括确定封围多个干涉式调制器的装置的性质，和至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种用于测试湿度的系统。所述系统包括i)用于向装置提供潮湿环境的构件，所述装置封围多个干涉式调制器，和ii)用于确定所述装置的性质的构件。可至少部分基于所述确定的性质来确定所述装置内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种用于测试湿度的系统。所述系统包括第一测试装置，其经配置以向目标装置提供潮湿环境，所述目标装置封围多个干涉式调制器。所述系统还包括第二测试装置，其经配置以确定所述目标装置的性质。可至少部分基于所述确定的性质来确定所述目标装置内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种测试湿度的方法。所述方法包括测量i)封围多个干涉式调制器的第一装置的第一重量，和ii)封围多个干涉式调制器的第二装置的第二重量，其中所述第一和第二装置含有不同量的水蒸气。所述方法还包括将所述第一和第二装置的重量进行比较，和至少部分基于所述重量比较来确定所述两个装置中的一者内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种用于测试湿度的系统。所述系统包括：i)封围多个干涉式调制器的第一装置；和ii)封围多个干涉式调制器的第二装置，其中所述第一和第二装置含有不同量的水蒸气。所述系统还包括经配置以测量所述第一和第二装置的重量的秤。可至少部分基于所述测得的重量来确定所述两个装置中的一者内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种测试湿度的方法。所述方法包括提供一种装置，其封围i)多个干涉式调制器，和ii)干燥剂，其中所述干燥剂经配置以基于其中吸收的水蒸气的量而改变其颜色。所述方法还包括确定所述干燥剂的变色的程度，和至少部分基于所述确定的变色程度来确定所述装置内的相对湿度值或相对湿度的程度。

另一实施例提供一种制造微机电系统(MEMS)装置的方法。所述方法包括提供衬底和在所述衬底上形成多个干涉式调制器。所述方法还包括提供干燥剂，所述干燥剂经配置以基于其中吸收的水蒸气的量而改变其颜色；和提供背板。所述方法进一步包括接合所述衬底与所述背板，以便形成封围所述多个干涉式调制器和干燥剂的装置。所述背板包含至少一个透明部分，通过所述透明部分可从所述装置外部观看到所述干燥剂的变色。

另一实施例提供一种微机电系统(MEMS)装置。所述系统包括：i)衬底，ii)形成于所述衬底上的多个干涉式调制器，iii)干燥剂，其经配置以基于其中吸收的水蒸气的量而改变其颜色，和iv)背板。所述衬底与背板彼此接合，以便形成封围所述多个干涉式调制器和所述干燥剂的装置。所述背板包含至少一个透明部分，通过所述透明部分可从所述装置外部观看到所述干燥剂的变色。