[发明专利]研浆分配系统及研浆供给方法有效

专利信息
申请号: 200710109533.3 申请日: 2007-06-25
公开(公告)号: CN101108472A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: 徐铭宗;陈保罗;陈锵泽;陈卓青;朱慧明 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: B24B57/02 分类号: B24B57/02
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 潘培坤
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 分配 系统 供给 方法
【权利要求书】:

1.一种研浆分配系统,包括:

一第一供给站;

一第二供给站;

一第一回路,选择性地连接于该第一供给站及该第二供给站;

一第二回路,选择性地连接于该第一供给站及该第二供给站;

一第一阀装置,将该第一回路连接于多个使用点;以及

一第二阀装置,将该第二回路连接于多个使用点,其中当研浆从该第一供给站被供给至该第一回路时,研浆从该第二供给站被供给至该第二回路;当研浆从该第一供给站供给至该第二回路时,研浆从该第二供给站被供给至该第一回路;当该第一阀装置被打开时,研浆从该第一回路被供给至所述使用点,当该第二阀装置被打开时,研浆从该第二回路被供给至所述使用点。

2.如权利要求1所述的研浆分配系统,其中该第一供给站包括:

一第一槽,用于储存研浆;

一第一泵,连接于该第一槽;以及

一第一阀模块,其中研浆由该第一泵驱动而从该第一槽通过该第一阀模块,该第一阀模块控制研浆进入该第一回路或该第二回路。

3.如权利要求2所述的研浆分配系统,其中该第一阀模块包括:

一第一阀体,连接该第一槽与该第一回路;

一第二阀体,连接该第一泵与该第一回路;

一第三阀体,连接该第一阀体以及该第二阀体;

一第四阀体,连接该第一槽与该第二回路;

一第五体阀,连接该第一泵与该第二回路;以及

一第六阀体,连接该第四阀体以及该第五阀体,其中当该第一阀体与该第二阀体被打开且该第三阀体被关闭时,研浆由该第一泵驱动从该第一槽进入该第一回路;当该第一阀体与该第二阀体被关闭且该第三阀体被打开时,研浆从外部流经该第一供给站,当该第四阀体与该第五阀体被打开且该第六阀体被关闭时,研浆由该第一泵驱动从该第一槽进入该第二回路;当该第四阀体与该第五阀体被关闭且该第六阀体被打开时,研浆从外部流经该第一供给站。

4.如权利要求2所述的研浆分配系统,其中该第二供给站包括:

一第二槽,用于储存研浆;

一第二泵,连接于该第二槽;以及

一第二阀模块,其中研浆由该第二泵驱动而从该第二槽通过该第二阀模块,该第二阀模块控制研浆进入该第一回路或该第二回路。

5.如权利要求4所述的研浆分配系统,其中该第二阀模块包括:

一第七阀体,连接该第二槽与该第一回路;

一第八阀体,连接该第二泵与该第一回路;

一第九阀体,连接该第七阀体以及该第八阀体;

一第十阀体,连接该第二槽与该第二回路;

一第十一阀体,连接该第二泵与该第二回路;以及

一第十二阀体,连接该第十阀体与该第十一阀体,其中当该第七阀体与该第八阀体被打开且该第九阀体被关闭时,研浆由该第二泵驱动从该第二槽进入该第一回路;当该第七阀体与该第八阀体被关闭且该第九阀体被打开时,研浆从外部流经该第二供给站;当该第十阀体与该第十一阀体被打开且该第十二阀体被关闭时,研浆由该第二泵驱动从该第二槽进入该第二回路;当该第十阀体与该第十一阀体被关闭且该第十二阀体被打开时,研浆从外部流经该第二供给站。

6.如权利要求1所述的研浆分配系统,其还包括一清洗槽,该清洗槽装有清洗液,并连接至该第一回路或该第二回路,其中当第一回路或第二回路的研浆被清空时,该清洗液被供给至该第一回路或该第二回路。

7.一种研浆分配系统,包括:

一第一供给站;

一第二供给站;

一第一回路,选择性地连接于该第一供给站及该第二供给站;

一第二回路,选择性地连接于该第一供给站及该第二供给站;以及

一阀体模块,包括:

一第一阀装置,将该第一回路连接于多个使用点;及

一第二阀装置,将该第二回路连接于多个使用点,其中该第一阀装置以及该第二阀装置可选择性地同时打开或关闭。

8.一种研浆分配系统,包括:

第一如权利要求1所述的研浆分配系统;

第二如权利要求1所述的研浆分配系统,其中研浆从该第二研浆分配系统的第一回路供给至该第一研浆分配系统的第一供给站。

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