[发明专利]荧光X射线分析设备

权利要求书

1.一种荧光X射线分析设备，其包括：

用于生成X射线的X射线管；

用于支承接收X射线的样本的样本支承部分；

用于接收从接收X射线的样本生成的X射线的偏振滤光器；和

用于检测来自偏振滤光器的X射线的检测器；

其中X射线管、样本支承部分、偏振滤光器和检测器布置为使三个光路，即，从X射线管到样本的光路、从样本到偏振滤光器的光路和从偏振滤光器到检测器的光路相互以90度相交。

2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析设备，其中具有用于接收来自样本的X射线的向样本侧弯曲的光接收表面的滤光器用作偏振滤光器。

3.根据权利要求2所述的荧光X射线分析设备，其中作为偏振滤光器的形状，光接收表面弯曲以沿一个圆的圆周，样本和检测器或检测器准直器布置为在圆周上以180分开，且X射线管布置为使从X射线管向样本的X射线的方向垂直于由圆形成的表面。

4.根据权利要求3所述的荧光X射线分析设备，其中作为弯曲以沿圆周的偏振的形状，使用附着到圆柱表面的形状的部分。

5.根据权利要求2所述的荧光X射线分析设备，其中X射线管的X射线生成源和检测器或检测器准直器布置为在球上以180度分开；多个弯曲以沿多个直径小于球直径的圆的圆周的偏振滤光器布置在通过检测器的位置或检测器准直器的位置的球上，以及对于多个圆，样本布置在圆周上与检测器或检测器准直器分开180度。

6.根据权利要求5所述的荧光X射线分析设备，其中布置在以上所述的多个圆的圆周上的样本、X射线生成源和检测器或检测器准直器对齐以在其他圆的圆周上对齐。

7.根据权利要求1所述的荧光X射线分析设备，其中作为偏振滤光器，多个平面形的偏振滤光器布置为使得它们的光接收表面位于沿一个圆的圆周；样本和检测器或检测器准直器布置为在圆周上分开180度；且X射线管布置为使得从X射线管向样本的X射线的方向垂直于由圆形成的表面。

8.根据权利要求7所述的荧光X射线分析设备，其中多个平面形的偏振滤光器对齐为接触圆柱表面。

9.根据权利要求1所述的荧光X射线分析设备，其中X射线管的X射线生成源和检测器或检测器准直器布置为在球上分开180度；多个平面形的以沿直径小于球直径的多个圆的圆周的偏振滤光器布置在通过检测器的位置或检测器准直器的位置的球上，以及对于多个圆，样本布置在圆周上与检测器或检测器准直器分开180度。

10.根据权利要求9所述的荧光X射线分析设备，其中布置在以上所述的多个圆的圆周上的样本、X射线生成源和检测器或检测器准直器对齐为在其他圆的圆周上对齐。

11.根据权利要求1所述的荧光X射线分析设备，包括用于测量在样本内生成的荧光X射线被偏振滤光器康普顿散射后的分量的测量装置。

12.根据权利要求11所述的荧光X射线分析设备，其中偏振滤光器由其主要成分的原子序数是14或更低的材料制成。

13.根据权利要求12所述的荧光X射线分析设备，其中偏振滤光器由其主要成分的原子序数是8或更低的材料制成。

14.根据权利要求1所述的荧光X射线分析设备，其中将来自X射线管的X射线聚焦的用于X射线的透镜布置在X射线管和样本之间。

15.一种用于布置X射线管、样本、偏振滤光器和检测器的荧光X射线分析方法，使三个光路，即，从X射线管到样本的X射线光路、从样本到偏振滤光器的X射线光路和从偏振滤光器到检测器的X射线光路相互以90度相交。

16.根据权利要求15所述的荧光X射线分析方法，其中测量在样本内生成的荧光X射线被偏振滤光器康普顿散射后的分量。