[发明专利]分析电磁体有效
申请号: | 200710110263.8 | 申请日: | 2007-06-08 |
公开(公告)号: | CN101114565A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 土肥正二郎 | 申请(专利权)人: | 日新意旺机械股份有限公司 |
主分类号: | H01J49/02 | 分类号: | H01J49/02;H01J37/02;H01J37/244 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 李涛;钟强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分析 磁体 | ||
1.一种分析电磁体,用于执行具有带状形状的离子束的动量分析,在该带状形状中,与传播方向相交的平面的y方向中的尺寸大于垂直于y方向的x方向中的尺寸,所述分析电磁体包括:
磁极,其中,弯曲平面图形状,通过y方向中的间隙彼此相对,并在其间入射离子束,
其中,沿离子束的传播方向,将所述磁极的每一个划分成三个或更多奇数部分磁极,朝弯曲部分的外部,加宽从用于离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙,以及朝弯曲部分的内部,加宽从用于离子束的所述入口计数的至少一个偶数部分磁极对的每个磁极对应的各个间隙。
2.一种分析电磁体,用于执行带状形状的离子束的动量分析,在该带状形状中,与传播方向相交的平面的y方向中的尺寸大于垂直于y方向的x方向中的尺寸,所述分析电磁体包括:
磁极,其中,弯曲平面图形状,通过y方向中的间隙彼此相对,并在其间入射离子束,
其中,沿离子束的传播方向,将所述磁极的每一个划分成三个或更多奇数部分磁极,朝弯曲部分的内部,加宽从用于离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙,以及朝弯曲部分的外部,加宽从用于离子束的所述入口计数的至少一个偶数部分磁极对的每个磁极对应的各个间隙。
3.如权利要求1或2所述的分析电磁体,其中,用多个步骤加宽所述三个或更多奇数部分磁极对的至少一个的间隙。
4.如权利要求1或2所述的分析电磁体,其中,所述磁极的每一个的划分数为3。
5.如权利要求4所述的分析电磁体,其中从用于离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的外侧加宽,以及从所述用于离子束的入口计数的偶数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的内侧加宽。
6.如权利要求4所述的分析电磁体,其中,从用于离子束的入口计算的奇数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的内侧加宽,以及从所述用于离子束的入口计数的偶数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的外侧加宽。
7.如权利要求1所述的分析电磁体,其中所述磁极的每个的划分数是5或更大的奇数,以及从用于离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的外侧加宽,以及从所述用于离子束的入口计数的偶数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的内侧加宽。
8.如权利要求2所述的分析电磁体,其中所述磁极的每个的划分数是5或更大的奇数,以及从用于离子束的入口计数的奇数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的内侧加宽,以及从所述用于离子束的入口计数的偶数部分磁极对的间隙向着弯曲部分的外侧加宽。
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