[发明专利]以氧化锌制作发光装置的方法有效
| 申请号： | 200710111305.X | 申请日： | 2007-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101330117A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 周明奇;吴季珍;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 周明奇;中美硅晶制品股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01S5/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 何为 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化锌 制作 发光 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种以氧化锌制作发光装置的方法，其特征在于：该方法至少包括下列步骤：
A、取一铝酸锂基板；
B、在该铝酸锂基板上先成长单晶薄膜状的氧化锌缓冲层，且该氧化锌缓冲层薄膜结构转换成六角形柱状结构，并规则排列成为一蜂窝状，再在该氧化锌缓冲层上成长氮化镓成核层，并以此磊晶后的GaN/ZnO/LiAlO2结构成长多重量子阱及第一金属电极层；
C、将B步骤成长后的结构浸泡于酸性溶液中蚀刻，并去除该铝酸锂基板及该氧化锌缓冲层；以及
D、于该氮化镓成核层的下方成长第二金属电极层，以完成发光装置结构。
2.根据权利要求1所述的以氧化锌制作发光装置的方法，其特征在于：所述酸性溶液为硝酸、氢氟酸或醋酸。
3.根据权利要求1所述的以氧化锌制作发光装置的方法，其特征在于：所述多重量子阱为至少一个以上具有不同井宽和势垒高度的量子阱。
4.根据权利要求1所述的以氧化锌制作发光装置的方法，其特征在于：所述发光装置为发光二极管或激光二极管。
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