[发明专利]一种超薄3自由度微动工作台

权利要求书

1.一种超薄3自由度微动工作台，该工作台由微动台基座(1)，微动台动子(2)以及微动台定子(3)组成，其特征在于：所述微动工作台具有3组电磁力驱动单元，3组电磁力驱动单元分别嵌入在微动台动子和微动台定子中，所述的微动台动子包括动子下滑盖(2a)和动子上滑盖(2b)，动子下滑盖嵌有上述3组电磁力驱动单元的下永磁体组件，每个下永磁体组件由两片磁极方向相反布置的永磁体和设置在永磁体下面的铁轭组成，动子上滑盖嵌有上述3组电磁力驱动单元的上永磁体组件，每个上永磁体组件由两片磁极方向相反布置的永磁体和设置在永磁体上面的铁轭组成；所述的微动台定子包括线圈骨架和3组电磁力驱动单元的线圈，所述3组电磁力驱动单元的线圈嵌入单层的线圈骨架中；微动台动子通过气浮轴承或磁浮轴承悬浮在微动台基座之上，与微动台定子保持间隙；微动台定子与微动台基座固定联接。

2.根据权利要求1所述的3自由度微动工作台，其特征在于：所述3组电磁力驱动单元，其中两组驱动单元的驱动轴线平行但不重合，第三组驱动单元的驱动轴线与前两组正交，分别用以驱动微动工作台实现平面内X轴方向、Y轴方向和绕Z轴旋转θ_z的3个自由度的运动。

3.根据权利要求1或2所述的3自由度微动工作台，其特征在于：所述磁浮轴承采用四对平面磁浮轴承，分别布置在于在微动工作台的四个角中。

4.根据权利要求1所述的3自由度微动工作台，其特征在于：所述微动台基座相邻的两个侧面分别布置1个和2个位移检测传感器，用以实现微动台X方向、Y方向和绕Z轴旋转θ_z的3个自由度的位移检测。

5.根据权利要求1所述的3自由度微动工作台，其特征在于：所述微动台基座边缘加工有凸台，用于支撑微动台定子。

6.根据权利要求1所述的3自由度微动工作台，其特征在于：所述微动工作台中间留有方形孔结构，以允许中间安装掩模版。