[发明专利]在控制栅极边缘上操作存储装置的方法与结构有效
申请号: | 200710111918.3 | 申请日: | 2007-06-20 |
公开(公告)号: | CN101093860A | 公开(公告)日: | 2007-12-26 |
发明(设计)人: | 吴昭谊 | 申请(专利权)人: | 旺宏电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/792 | 分类号: | H01L29/792;H01L29/423;H01L27/115;H01L23/522 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 控制 栅极 边缘 操作 存储 装置 方法 结构 | ||
1、一种存储装置,包括:
基板;
电荷捕捉结构,其位于所述基板上,所述电荷捕捉结构在第一方向延伸;以及
栅极在第二方向延伸,并与所述电荷捕捉层交错,所述栅极具有底面,所述底面由第一边缘与非边缘部分所定义,所述第一边缘与第二边缘分隔,且所述非边缘部分介于所述第一边缘与所述第二边缘之间,所述非边缘部分具有第一临界电压,所述第一与第二边缘具有第二临界电压,所述第二临界电压值低于所述第一临界电压;
其中空穴通过空穴注入而被移至所述电荷捕捉层,且置于所述栅极之下、并沿着所述栅极的所述第一与第二边缘排列。
2、如权利要求1所述的装置,其中所述空穴储存于电荷捕捉层中,并位于每一字线的第一与第二边缘底下,且沿着所述第一与第二边缘排列。
3、如权利要求1所述的装置,其中所述空穴注入步骤,包括施加正栅极电压以擦除所述存储装置至负电压电平,其通过将空穴从栅极移动到所述电荷捕捉结构而完成。
4、如权利要求1所述的装置,其中所述空穴注入步骤,包括施加负栅极电压以擦除所述存储装置至负电压电平,其通过将空穴从基板移动到所述电荷捕捉结构而完成。
5、如权利要求1所述的装置,其中所述电荷捕捉结构包括电荷捕捉层,所述电荷捕捉层位于介质层之上。
6、如权利要求1所述的装置,其中所述电荷捕捉结构包括顶介质层,其位于电荷捕捉层之上,且所述电荷捕捉层位于底介质层之上。
7、如权利要求1所述的装置,进一步包括第一介质部分与第二介质部分,所述电荷捕捉层设置于所述第一与第二介质部分之间。
8、一种存储处理结构,包括:
一条以上彼此平行延伸的位线;
一条以上字线沿着第二方向延伸、并与电荷捕捉层相交,所述字线具有底面,所述底表面由第一边缘与非边缘部分所定义,所述第一边缘与第二边缘分隔,且所述非边缘部分介于所述第一边缘与所述第二边缘之间,所述非边缘部分具有第一临界电压,所述第一与第二边缘具有第二临界电压,所述第二临界电压值低于所述第一临界电压;以及
电荷捕捉层设置于所述一条以上字线之下,并接触至每一所述字线的所述底面;
其中,空穴通过空穴注入而被移至所述电荷捕捉层,且所述些空穴置于每一所述字线底下,并沿着每一所述字线的所述第一与第二边缘排列。
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