[发明专利]用于UV固化室的增加设备利用性/MWBC减少的装置和方法

权利要求书

1.一种用于固化工件的系统，包括：

室外壳；

在所述室外壳中用于支持工件的衬底支架；

辐射源，其用于将辐射引导到所述衬底支架上支撑的工件，以固化所述工件；以及

泵衬里，其具有用于接收和排出净化气流的气体进气室和气体排气室，所述泵衬里具有用于引导基本上层状的净化气流通过由所述辐射正在进行固化的所述工件的表面的多个注入狭槽，所述泵衬里还具有与所述多个注入狭槽相对的用于接收引导通过所述晶片的气流的多个接收狭槽，所述接收狭槽进一步用于在所述固化处理期间接收从所述工件除气的任何物质。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

净化气体源，其用于将所述净化气流引导到所述泵衬里。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述净化气流具有足够的质量和动量以载出固化期间从所述工件除气的物质。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述泵衬里具有多个用于接触所述室外壳的接触部件，其中为了减小从所述泵衬里到所述室外壳的热量流动的能力，所述接触部件最小化所述泵衬里与所述室外壳之间的接触区域。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于：

所述辐射源进一步将辐射引导到所述泵衬里的至少一部分，从而增加所述泵衬里的温度。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

设置在所述辐射源与所述工件支架之间的窗口，所述窗口具有足够大的直径，从而所述辐射源可将辐射引导到待固化的整个工件的表面和所述泵衬里的至少一部分，

其中所述净化气流使得在所述窗口上除气物质的聚集基本上减少到最小。

7.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

与所述泵衬里热接触的加热元件，所述加热元件用于在所述净化气流引导通过所述工件的所述表面之前，将所述泵衬里加热到预定温度。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：

所述辐射源包括至少一个紫外(UV)灯。

9.一种用于在处理室中将净化气流引导通过工件的泵衬里，包括：

具有适于配合工件外围的中心开口的环形元件，所述环形元件具有用于接收净化气流进入所述环形元件中的第一沟道的进气室，以及用于将所述净化气流引导出所述环形元件中的第二沟道的排气室；

多个注入口，其位于所述环形元件的所述中心开口附近，并且用于引导所述净化气流，通过所述进气室从所述第一沟道接收并且通过所述工件的表面，所述注入口用于引导基本上层状的所述净化气流通过所述表面；以及

多个接收口，其位于所述环形元件的所述中心开口附近，所述接收口与所述注入口基本上相对，并且用于接收引导通过所述工件的所述表面的所述净化气流，以及由所述气流载送的从所述工件除气的任何物质，并且引导所述气流和除气物质通过所述第二沟道并且通过所述排气室排出所述环形元件。

10.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述泵衬里由铝形成。

11.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述泵衬里的暴露表面的至少一部分进行阳极化。

12.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述多个注入口和多个接收口每个包括在所述环形元件中的多个狭槽。

13.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述环形元件还具有用于接触室外壳的多个接触部件，其中为了减小从所述环形元件到所述室外壳的热量流动的能力，所述接触部件最小化所述环形元件与所述室外壳之间的接触区域。

14.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述环形元件包括第一和第二配合部分。

15.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述多个注入口和多个接收口每个为至少一种形状、尺寸和定位，从而提供基本上层状的流动。

16.根据权利要求9所述的泵衬里，其特征在于：

所述多个注入口包括至少一个不同形状和不同尺寸的多个注入口。