[发明专利]氮化锌薄膜制备方法无效
| 申请号： | 200710114534.7 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101463469A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 闫金承;焦芳冉;秦云海;孟超 | 申请（专利权）人： | 闫金承 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 | 代理人： | 于 涛 |
| 地址： | 264200山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种氮化锌薄膜制备方法，其特征是在溅射锌的同时向溅射联合设备中通入氮气和氩气的混合气体，在石英衬底上制备出较稳定氮化锌，步骤如下：一是首先用酒精、丙酮，去离子水在超声波中清洗石英衬底，在磁控溅射室中放入锌靶，并将衬底放入溅射室中，二是抽真空，抽至高真空下，一般抽至本底真空为10-4--10-5Pa，三是打开流量计，先抽气路中的空气，待流量降为零时，开始充入氮气，流量在60-80sccm，在此过程中应持续抽气体，四是加热到200摄氏度，使溅射室压强稍增大，然后起辉，预溅射半小时后开始反应，计时约两小时，五是反应停止后，待溅射室温度降至50度左右时，可以将机器关闭，取出衬底即可。
2、根据权利要求1所述的一种氮化锌薄膜制备方法，其特征在于抽真空为先用机械泵抽真空，再换分子泵抽真空。
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