[发明专利]一种立体式空间分布电极的发光二极管及其制造方法

权利要求书

1.一种具有立体式空间分布电极的氮化镓基发光二极管器件，其特征在于：

-绝缘性的衬底；

-n型氮化镓基外延层形成于衬底之上，有源层形成于n型氮化镓基外延层之上，p型氮化镓基外延层形成于有源层之上；

-n焊线盘和n条状电极形成暴露的n型氮化镓基外延层之上；

-绝缘性材料层形成n条状电极和暴露的n型氮化镓基外延层之上，并且覆盖在暴露的n型氮化镓基外延层、有源层和p型氮化镓基外延层侧表面；

-透明导电层形成p型氮化镓基外延层和绝缘性材料层之上；

-p焊线盘和p条状电极形成于透明导电层之上。

2.如权利要求1所述的一种具有立体式空间分布电极的氮化镓基发光二极管器件，其特征在于：在器件正面俯视图中，p条状电极与n条状电极在法线方向上的投射面相互重合的面积占p或者n条状电极总面积的80％～100％。

3.一种具有立体式空间分布电极的氮化镓基发光二极管器件的制造方法，其步骤如下：

(1)以蓝宝石或者碳化硅等绝缘性材料作为衬底，在其上外延生长LED发光材料，发光材料依次包括n型氮化镓基外延层、有源层和p型氮化镓基外延层；

(2)采用干法或者湿法蚀刻掉部分区域的p型氮化镓基外延层和有源层，暴露出n型氮化镓基外延层；

(3)在上述之n型氮化镓基外延层上制作n电极，包括n条状电极和n焊线盘；

(4)采用蒸发、溅射、化学沉积或者涂布等方法生长一层绝缘性材料层，覆盖整个外延片表面，绝缘层材料是SiO₂、Si₃N₄、Al₂O₃或者聚酰亚胺之一；

(5)采用干法或者湿法蚀刻掉p型氮化镓基外延层上的绝缘性材料层；

(6)采用蒸发或者溅射的方法在p型氮化镓基外延层和绝缘性材料层上生长一层透明导电层，经过热退火后与p型氮化镓基外延层形成良好欧姆接触；

(7)在透明导电层上制作p电极，包括p条状电极和p焊线盘，使得p条状电极与n条状电极在发光面法线方向上的投射面重合，重合面积占p或者n条状电极总面积的80％～100％；

(8)采用干法或者湿法蚀刻掉n焊线盘上的透明导电层和绝缘性材料，暴露出n焊线盘。