[发明专利]用1342nm激光7倍频获得192nm紫外激光的方法

说明书

技术领域

本实验发明涉及一种获得192nm紫外激光的方法，尤其涉及一种用波长1342nm激光7倍频获得192nm紫外激光的新方法。

背景技术

193nm波段紫外激光主要是用做微电子光刻产业的光源，此外也是眼科手术中的重要光源。目前能获得193nm紫外激光的除了准分子激光器外，LD泵浦通过频率转化也是获得193nm紫外激光的重要途径。与准分子激光器相比，LD泵浦193nm紫外固体激光器具有重复频率高、峰值功率高、寿命长、相干性好、结构紧凑、体积小、应用范围广的优势，已成为近年来国际上固体激光器领域的一个研究热点。相关的工作如下：

1.1988年1月，W.Mfickenheim等人在Appl.Phys.B上发表了“利用BBO和频获得189-197nm的波长范围激光(Attaining the Wavelength Range 189-197nm by FrequencyMixing in β-BaB₂O₄)”的文章，报导了利用染料激光器495nm的倍频光与780nm-950nm可调谐染料激光器用BBO和频获得189-197nm紫外激光。

2.1997年11月，G.C.Bhar等人在Opt.Lett上发表了“用BBO产生187.9-196nm的可调谐激光(Generation of tunable 187.9-196nm radiation in β-Ba₂BO₄)”的文章，报导了用BBO做非线性晶体，将Nd:YAG晶体产生的1064nm激光与可调谐染料激光器456480nm的倍频光(228-240nm)和频，获得187.9-196nm的激光输出。

3.1997年9月，Nobuhiro Umemura等人在App Opt上发表了“用CLBO获得了185nm可调谐紫外激光(Ultraviolet generation tunable to 0.185nm in CsLiB₆O₁₀)”的文章，报导了利用KTP倍频1064nm Nd:YAG激光器产生的532nm激光抽运KTP(θ＝68.2°，φ＝45°)参量振荡器产生1400nm左右的激光，再经过CLBO与1064nm的五倍频212.8nm和频产生185nm激光输出。

4.1999年9月，Hikaru Kouta等人在Opt Lett上发表了“用冷却BBO获得186nm激光(Attaining 186-nm light generation in cooled β-BaB₂O₄ crystal)”的文章，报导了利用被动调Q Nd:YAG激光器输出1064nm激光，经过KTP倍频后产生532nm泵浦钛宝石(Ti：sapphire)激光器产生波长730-800nm激光输出，然后经过KDP倍频产生370nm激光，再经过BBO II类和频产生247nm激光，最后经过BBO I类和频产生730-800nm激光的四倍频，从而可以得到193nm的激光输出。