[发明专利]一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法无效

专利信息
申请号: 200710118288.2 申请日: 2007-07-04
公开(公告)号: CN101338450A 公开(公告)日: 2009-01-07
发明(设计)人: 周旗钢;吴志强;戴小林;王学锋 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司
主分类号: C30B15/18 分类号: C30B15/18;C30B15/10
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人: 郭佩兰
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 延长 直拉单晶炉中主 发热 使用寿命 减少 自重 方法
【权利要求书】:

1、一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,所述的主发热体由多片加热片组成,每片呈波浪状,且波浪状转弯处的外壁及内壁呈直角,波浪状的两个端部带有电极,其特征在于:将加热片波浪状转弯处的外壁及内壁的直角做成为圆弧倒角或直边倒角。

2、一种根据权利要求1所述的一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,其特征在于:将波浪状转弯处的外壁做成圆弧倒角R1或直边倒角C1、C2,将波浪状转弯处的内壁做成圆弧倒角R2或直边倒角B1、B2。

3、根据权利要求2所述的一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,其特征在于:所述的波浪状转弯处的外壁为直边倒角C1、C2,它与发热体轴线的倾角为10-80度,所述的波浪状转弯处的内壁做成直边倒角B1、B2,它与发热体轴线的倾角为10-80度。

4、根据权利要求3所述的一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,其特征在于:所述的直边倒角C1、C2的数值分别为1-200毫米,直边倒角B1、B2的数值分别为1-200毫米。

5、根据权利要求2所述的一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,其特征在于:波浪状转弯处的外壁做成圆弧倒角R1,将波浪状转弯处的内壁做成圆弧倒角R2。

6、根据权利要求5所述的一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法,其特征在于:所述的曲率半径R1的数值为10-500毫米;曲率半径R2的数值为2-200毫米。

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