[发明专利]电感耦合线圈及应用该线圈的电感耦合等离子体装置有效
| 申请号： | 200710118653.X | 申请日： | 2007-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101345114A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 申浩南;张文雯;李东三;陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H05H1/46;H05H1/50;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵镇勇;姚巍 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 应用 等离子体 装置 | ||
1.一种电感耦合线圈，包括内绕组、外绕组，其特征在于，所述的内绕组和外绕组之间通过柔性连接片连接；
所述的内绕组和外绕组分别固定在内绕组支架和外绕组支架上，所述内绕组支架和外绕组支架至少一个为活动支架，使所述内绕组与外绕组之间的纵向相对位置能够调节。
2.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内绕组和外绕组为平面结构。
3.根据权利要求1所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内绕组和外绕组中至少一个为立体结构。
4.根据权利要求1至3任一项所述的电感耦合线圈，其特征在于，所述的内绕组和外绕组相互并联或串联连接。
5.一种应用权利要求1至4所述的电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置，包括反应室，反应室上部设有介电窗，其特征在于，所述的介电窗的上部设有所述的电感耦合线圈，所述电感耦合线圈的内绕组与外绕组之间的相对位置可以调节。
6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述的内绕组和外绕组分别固定在内绕组支架和外绕组支架上，所述内绕组支架和外绕组支架设置在反应室上部，且至少一个支架与反应室之间的相对位置可以调节。
7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述外绕组支架上固定有齿条，所述反应室的壁上设有齿轮，所述齿轮与齿条啮合。
8.根据权利要求5、6或7所述的电感耦合等离子体装置，其特征在于，所述的内绕组和外绕组并联连接，并分别与匹配器连接，所述匹配器为双输出匹配器，所述双输出匹配器的每一个输出端分别连接有可手动调节的可变电容。
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