[发明专利]一种氧化锌铁电薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200710119652.7 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101148781A | 公开（公告）日： | 2008-03-26 |
| 发明（设计）人： | 于利刚;张耿民;栾桂东;张金铎;郭等柱 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C30B29/48 | 分类号： | C30B29/48;C30B29/16;C30B30/02 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 周政 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种氧化锌铁电薄膜的制备方法，包括以下步骤：
a.清洗锌片，除去锌片表层的氧化物并使之平整；
b.以0.3～0.5摩尔/升的氢氧化锂水溶液作为电解液，阳极氧化锌片，在锌片表面形成锂掺杂的氧化锌薄膜；
c.取出锌片，用去离子水冲洗干净，在锌片表面获得氧化锌铁电薄膜。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤a采用电抛光的方法清洗锌片。
3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述步骤a将锌片和另一金属片插入抛光液中形成二极结构，锌片与电源的正极相连，所述另一金属片与电源的负极相连，通0.6～1A电流3～5分钟，然后取出锌片，用去离子水冲洗干净。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述步骤抛光液为重量百分比为35％的磷酸乙醇溶液。
5.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述的另一金属片为铂片。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述步骤b是将清洗后的锌片和另一金属片分别与电化学测试系统的阳极和阴极相连，并与电解液接触，保持电流30～50mA反应8～12小时。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于：所述的另一金属片为铂片。
8.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于：所述电解液为0.4摩尔/升的氢氧化锂水溶液。
9.根据权利要求1或6所述的制备方法，其特征在于：在步骤b中所述锌片只有一面与电解液接触。
10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于：在盛放电解液的容器上开口，该开口和由聚四氟乙烯制成的法兰盘相连，锌片固定在法兰盘上，只有一面和电解液接触。
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