[发明专利]一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件及其安装方法

权利要求书

1.一种MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件，其特征在于：包括精密安装基准体和敏感轴水平的微型MEMS振动陀螺仪本体，安装基准体的主体为内部凹陷的长方体，包括第一基准面、第二基准面和内部凹陷空间，内部凹陷空间的形状根据陀螺仪本体的外形尺寸设计而成，以使陀螺仪本体嵌入到该凹陷空间里，与MEMS陀螺仪本体安装面平行的底面作为第一基准面，与MEMS陀螺仪水平敏感轴垂直的基准体侧面作为第二基准面；凹陷空间内部有两种安装孔，一种为螺纹孔，其位置由将陀螺仪本体固定在安装基准体内的安装形式决定，另一种为通孔，其位置由将安装基准体安装到载体上的安装形式决定，在不作为基准面的侧面开孔，作为陀螺仪本体的走线孔。

2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件，其特征在于：所述的精密安装基准体的材料采用硬铝合金，或铜及铜合金、或钢及钢合金、或钛合金、或镁合金、或镁铝合金、或镁锂合金、或结构陶瓷、或微米陶瓷、或金属基复合材料、或陶瓷基复合材料。

3.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件，其特征在于：所述的第一基准面和第二基准面的表面粗糙度R_a优于1.6。

4.利用权利要求1所述的MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件的安装方法，其特征在于：包括以下步骤：

(1)通过机械加工初步加工制作出安装基准体后，将敏感轴水平的微型MEMS振动陀螺仪本体安装在其内部；

(2)按照陀螺仪测试标准，测试出微型MEMS振动陀螺仪的输入轴失准角的大小和方向，并计算出纵偏角α和横偏角β的大小和方向；

(3)根据纵偏角α的大小和方向，对安装基准体的第一基准面加工修正，使修正后的第一基准面相对陀螺仪坐标系oxyz偏转-α角，从而使纵偏角α趋向于零；同样，根据横偏角β，修正第二基准面，使修正后的第二基准面相对陀螺仪坐标系oxyz偏转-β角，从而使横偏角β趋向于零；

(4)再次按照陀螺仪测试标准，测试出微型MEMS振动陀螺仪的输入轴失准角，并计算出纵偏角α和横偏角β的大小和方向，如果纵偏角α和横偏角β的误差精度不在要求范围内，则重复步骤(3)和(4)；如果纵偏角α和横偏角β的大小满足要求，则MEMS陀螺仪的精密安装基准体组件即可正常使用。