[发明专利]晶片传输系统

权利要求书

1.一种晶片传输系统，包括真空传输腔室，所述真空传输腔室连接有多个腔室，所述多个腔室包括目标处理室和过渡腔室，所述真空传输腔室设有真空机械手，所述真空机械手能在所述多个腔室之间传输晶片，其特征在于，所述的真空传输腔室与每个腔室之间的晶片通道处分别设有用于感知晶片位置信息的传感器；

所述的传感器为光电传感器或光纤传感器；

所述的传感器包括发射端和接收端，所述发射端和接收端相对设置在真空传输腔室的上壁和下壁上；

晶片在搬运中经过所述传感器时，当晶片从未遮挡光线到遮挡住光线，传感器有一个信号输出；当晶片从遮挡光线到未遮挡光线，传感器也有一个信号输出。

2.根据权利要求1所述的晶片传输系统，其特征在于，所述的传感器发出的光线垂直于所述晶片的表面。

3.根据权利要求1所述的晶片传输系统，其特征在于，所述的传感器的位置略偏于所述晶片通道的中心线。

4.根据权利要求1至3任一项所述的晶片传输系统，其特征在于，所述的机械手设有机械手控制器，所述机械手控制器包括坐标读取单元和偏差计算补偿单元，所述坐标读取单元接收传感器的信号并输入给偏差计算补偿单元。

5.根据权利要求1至3任一项所述的晶片传输系统，其特征在于，所述的机械手设有机械手控制器，所述机械手控制器包括坐标读取单元；所述的晶片传输系统还包括上位机，所述上位机设有偏差计算补偿单元，所述坐标读取单元接收传感器的信号并输入给偏差计算补偿单元。