[发明专利]狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔有效
| 申请号： | 200710121657.3 | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101119609A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;张贵新;冯剑 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 狭缝 结合 式微 等离子体 反应 | ||
【权利要求书】：
1.一种狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔，包括上下均由可拆卸法兰密闭的竖直放置空心圆柱形反应腔体，在腔体中部，环绕有一横截面为矩形的环形波导，环形波导内壁与腔体外壁重合；环形波导内壁上开凿有与环形波导内驻波波节数目对应的狭缝，狭缝的位置在驻波波节处；环形波导外壁开有用于与方圆模式转换波导或者耦合天线相连的一个通孔；其特征在于，在环形波导内壁上，还开有大缝，用于在反应腔形成中部最大、向外围逐渐降低的对称强电场，与狭缝形成的电场互补，使反应腔内电场分布均匀。
2.如权利要求1所述反应腔，其特征在于，该大缝的中心处于通孔中心与腔体中心的连线及其延长线上。
3.如权利要求1所述反应腔，其特征在于，该大缝形状为矩形、圆形或椭圆形对称结构。
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