[发明专利]一种TFT LCD结构及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器(TFT LCD)，尤其涉及TFT LCD面板的TFT基板周边结构及其制造方法。

背景技术

在TFT LCD的制造中，静电击穿是影响良品率的重要因素，危害要重。尽管在设备和工艺环境中采取的诸如离子风去静电等装置，仍然会产生静电击穿现象。

图1是现有技术的一种TFT LCD像素区域的周边结构截面图。如图1所示，彩膜基板具体包括：彩膜基板1；覆盖在彩膜基板1上的彩膜基板电极2；TFT基板具体包括：TFT基板3；形成在TFT基板3上的公共电极金属8；形成在底部金属(包括公共电极金属8、栅线金属等(图中未给出))上的底部金属绝缘层4；形成在底部金属绝缘层4上方的数据线5，覆盖在数据线5上方的绝缘保护层6；其中在公共电极金属8的上方形成有绝缘层(包括金属绝缘层和绝缘保护层)的过孔7；覆盖在过孔7之中的过孔处顶层导电膜10；在像素区域的周边，彩膜基板和阵列基板通过封框胶12进行贴合，且TFT基板在公共电极金属8上通过过孔处顶层导电膜10和导电银胶9与彩膜基板电极2之间实现导电连接。这种TFT LCD像素区域的周边结构由于彩膜基板电极2通过导电银胶9与TFT基板公共电极金属8实现导电连接，由于导电银胶9与过孔处顶层导电膜10(通常为透明像素电极材料)之间的接触电阻大。

图2是现有技术另一种TFT LCD像素区域的周边结构截面图。如图2所示，该技术中在彩膜基板和薄膜晶体管基板之间使用金属微球11取代导电银胶实现导电连接。这种连接方式既改善了因电学传导问题造成的彩色滤光片的电压不均匀而引起的显示不均匀现象(大尺寸屏尤其显得突出)，又因区别于导电银胶涂敷工艺，金属微球11以按比例与封框胶12混合的方式，在完成封框胶涂敷的同时完成金属微球的涂敷，去掉了单独的银胶涂敷工艺，极大的提高了产能。这样在彩色滤光片和薄膜晶体管基板缝框胶涂敷区域，留下导电金属微球，在相关的连接过孔处起到电学连接彩色滤光片和薄膜晶体管基板的作用。

其缺点在于在不需要的区域仍然留下了上述金属微球11，而这些区域是各类连接线如数据线，栅线等分布区域，部分金属微球甚至与彩色滤光片电极电学导通接触，相当于结构上缩短了彩色滤光片电极与数据线(或栅线)的距离，在局部构成一个对静电敏感的由金属微球、绝缘保护层与数据线或栅线构成的容量较小电容，在后工艺如POL贴敷等工艺中，因静电累积并通过上述小电容结构击穿释放，就会造成这些连接线与彩色滤光片电极的导通，发生断线，短路等不良现象，并且无法修复，造成重大损失，如图3中易发生击穿部分14所示。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术的缺陷，提供一种TFT LCD像素结构及其制造方法。本发明根据静电累积释放的基本理论，在TFT基板缝框胶涂敷区域，即各类金属连线的顶层区域，改变Mask设计，在不增加额外工艺的同时，保留与像素电极同层材质的导电层，在金属微球涂敷过程中，使导电层与部分金属微球的接触互联，构建一个由该导电层、绝缘保护层与数据线或栅线构成的电容，增大电荷容量，避免孤立点的静电积累和释放，从而避免击穿不良。

为了实现上述目的，本发明提供一种TFT LCD结构，包括：彩膜基板和阵列基板；其中所述彩膜基板包括：基板；覆盖在所述基板上的基板电极；所述阵列基板包括：基板；形成在所述基板上的数据线或栅线；覆盖在所述数据线或栅线的上方的沉积在所述基板的整个表面的绝缘保护层，所述绝缘保护层的上方形成有像素电极；所述彩膜基板和阵列基板在周边部位通过封框胶进行贴合；所述封框胶中按比例混合有金属微球，其中所述封框胶的下方的所述数据线或栅线上方的绝缘保护层上形成有顶层导电膜；所述顶层导电膜与所述金属微球形成接触互联。

上述方案中，所述顶层导电膜的材料与所述阵列基板上的所述像素电极的材料相同。所述顶层导电膜与所述阵列基板上的所述像素电极为分隔的不同部分。所述数据线或栅线的材料为钼、铝、铝镍合金、钼钨合金、铬或铜。所述绝缘保护层的材料为氮化硅。

为了实现上述目的，本发明同时提供一种TFT LCD结构的制造方法，包括：

首先，在基板上形成栅线，薄膜晶体管及数据线，以及，所述数据线或栅线上方的沉积在所述基板的整个表面的绝缘保护层；

接着，使用磁控溅射方法沉积透明电极材料，经过掩模、曝光和刻蚀，形成像素电极，同时在所述数据线或栅线上方的绝缘保护层上形成顶层导电膜，其中所述形成的顶层导电膜位于后续涂敷封框胶区域，且与像素电极隔开设置；