[发明专利]一种举升装置

权利要求书

1.一种举升装置，用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动，该举升装置包括顺次相连的压力源、控制模块、压力缸和用于举升半导体器件的运动模块，其中

所述压力源用于在所述控制模块的控制下向压力缸提供压力；

所述控制模块用于控制压力源和压力缸之间的压力传递；

所述压力缸依据来自所述压力源的压力而向运动模块输出相应的运动机械能；

所述运动模块借助来自所述压力缸的运动机械能而动作，以便携带半导体器件上升或下降，

其特征在于，所述控制模块包括电动比例调节元件，所述电动比例调节元件根据输入的电信号来控制压力源和压力缸之间的压力传递速度，从而间接调节所述运动模块携带半导体器件运动的运动速度。

2.根据权利要求1所述的举升装置，其特征在于，所述电动比例调节元件可以采用下述控制方式之一：

1)开环控制模式，即，将预定的电信号由现场或远程输入到电动比例调节元件的输入端，所述电动比例调节元件根据所述预定的电信号来控制压力源和压力缸之间的压力传递速度，进而间接调节所述运动模块的运动速度；

2)闭环控制模式，即，实时采集能够反映活塞位置的数据，并对其进行相应变换后而作为反馈信号输入到电动比例调节元件的输入端，所述电动比例调节元件根据所述反馈信号来控制压力源和压力缸之间的压力传递速度，进而间接调节所述运动模块的运动速度。

3.根据权利要求1所述的举升装置，其特征在于，所述电动比例调节元件包括电动比例调节阀。

4.根据权利要求1所述的举升装置，其特征在于，所述控制模块还包括方向控制阀，用以控制所述压力源和所述压力缸之间的压力传递方向。

5.根据权利要求4所述的举升装置，其特征在于，所述方向控制阀连接在所述压力缸和所述压力源之间。

6.根据权利要求5所述的举升装置，其特征在于，所述压力缸包括有杆腔和无杆腔。

7.根据权利要求6所述的举升装置，其特征在于，所述电动比例调节元件设置在所述压力缸的无杆腔和所述方向控制阀之间，在所述压力缸的有杆腔和所述方向控制阀之间设置排气节流阀。

8.根据权利要求6所述的举升装置，其特征在于，将两个所述电动比例调节元件分别设置在所述压力缸的无杆腔和所述方向控制阀之间以及所述压力缸的有杆腔和所述方向控制阀之间。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的举升装置，其特征在于，所述压力源包括气源，相应地，所述压力缸包括气压缸。

10.根据权利要求1至8中任意一项所述的举升装置，其特征在于，所述压力源包括液体源，相应地，所述压力缸包括液动压力缸。