[发明专利]光学头力矩器测试仪及光学头力矩器特性的测试方法无效
| 申请号： | 200710124330.1 | 申请日： | 2007-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101158618A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 马建设;张布卿;程雪岷;钟磊;潘龙法;毛乐山;王烁石;艾俊利;秦学和;孙满龙;杨明生 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院;东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01R31/00;G01B11/26 |
| 代理公司： | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 丁锐 |
| 地址： | 518055广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 力矩 测试仪 特性 测试 方法 | ||
1.一种光学头力矩器测试仪，其特征在于：包括力矩器承载台、可向被测力矩器输出激励信号的功率驱动电路、可向被测力矩器的物镜发射激光并接收物镜反射光的激光位移传感器和可分别与所述激光位移传感器及被测力矩器电性连接的数据采集装置。
2.根据权利要求1所述的光学头力矩器测试仪，其特征在于：所述激光位移传感器包括位于所述力矩器承载台上方的第一激光位移传感器，所述第一激光位移传感器可向被测力矩器的物镜镜面发射激光并接收物镜镜面的反射光。
3.根据权利要求1或2所述的光学头力矩器测试仪，其特征在于：所述激光位移传感器包括第二激光位移传感器，所述第二激光位移传感器可向被测力矩器的物镜侧边发射激光并接收物镜侧边的反射光。
4.根据权利要求3所述的光学头力矩器测试仪，其特征在于：所述第一激光位移传感器的激光发射方向与所述第二激光位移传感器的激光发射方向垂直相交。
5.根据权利要求4所述的光学头力矩器测试仪，其特征在于：所述数据采集装置包括数据采集卡和可实现所述数据采集卡与所述激光位移传感器、被测力矩器聚焦线圈、循迹线圈、功率驱动电路电性连接的电控接口。
6.根据权利要求5所述的光学头力矩器测试仪，其特征在于：包括与所述数据采集装置电性连接的计算单元；所述数据采集装置可将采集到的向被测力矩器输出的激励信号、被测力矩器物镜反射光在所述第一激光位移传感器及第二激光位移传感器上产生的响应信号传递给所述计算单元，所述计算单元根据激励信号和响应信号计算得出被测力矩器特性参数。
7.权利要求1所述光学头力矩器测试仪的物镜高度测试方法，其特征在于：包括以下步骤：
a、激光位移传感器向力矩器承载台台面发射激光并接收力矩器承载台台面的反射光，通过相互电连接的激光位移传感器和数据采集装置得到与力矩器承载台台面、激光位移传感器二者之间的距离相关的电压信号H0；
b、被测力矩器置于力矩器承载台台面，被测力矩器物镜的光轴与激光位移传感器的激光发射方向重合；激光位移传感器向被测力矩器的物镜镜面发射激光并接收物镜镜面的反射光，得到与激光位移传感器、物镜镜面二者之间的距离相关的电压信号H；
c、根据激光位移传感器本身的灵敏度为S计算被测力矩器的物镜镜面顶点相对于力矩器承载台台面的高度Hl：
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