[发明专利]折射率传感器

权利要求书

1.一种折射率传感器，其包括光源、光子晶体微腔结构及感测器，所述光子晶 体微腔结构包括晶体层及大量形成于该晶体层并规则排列的孔，其特征在于， 其中一个孔的直径与其他孔的直径不同从而构成一谐振腔，所述晶体层的晶格 常数为a，所述孔的直径为0.3a到0.5a，所述谐振腔的直径为0.55a到0.6a，该 谐振腔相对的两侧的晶体层具有线缺陷，该线缺陷分别构成第一波导与第二波 导，该第一波导与该谐振腔之间具有数个孔，该第二波导与该谐振腔之间具有 数个孔，该第一波导与该谐振腔之间的数个孔及该第二波导与该谐振腔之间的 数个孔与该第一波导、该第二波导及该谐振腔位于同一条直线上，所述光源设 置于该第一波导之入射端，所述感测器设置于该第二波导之出射端。

2.如权利要求1所述的折射率传感器，其特征在于，所述晶体层材料为Si、GaAs 或GaAlAs。

3.如权利要求1所述的折射率传感器，其特征在于，所述第一波导及第二波导 与该谐振腔之间分别具有2到5个孔。

4.如权利要求3所述的折射率传感器，其特征在于，所述孔排成m行，每行具 有n个孔且其中心连线相互平行，相邻的两行之间交错排列，m及n分别为14-18 之间的整数。

5.如权利要求4所述的折射率传感器，其特征在于，所述大量孔呈三角形排列。

6.如权利要求1所述的折射率传感器，其特征在于，所述孔为圆柱形孔。

7.如权利要求1所述的折射率传感器，其特征在于，所述光源为发光二极管或 者二极管激光器。