[发明专利]能量分散型辐射探测系统和测量目标元素的含量的方法有效

专利信息
申请号: 200710126208.8 申请日: 2007-06-22
公开(公告)号: CN101101269A 公开(公告)日: 2008-01-09
发明(设计)人: 的场吉毅;长谷川清;深井隆行 申请(专利权)人: 精工电子纳米科技有限公司
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22;H01J37/252
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 张雪梅;刘宗杰
地址: 日本千叶*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 能量 分散 辐射 探测 系统 测量 目标 元素 含量 方法
【权利要求书】:

1.一种能量分散型辐射探测系统,该系统包括用于以预定强度将入射辐射照射到样品的入射系统,和用于通过照射入射辐射探测从该样品发射的辐射以便基于被探测的辐射的光谱确定该样品的目标元素的含量的探测系统,该能量分散型辐射探测系统包括:

能够通过基于被探测的辐射的光谱确定最小化目标元素的探测的最小极限的入射辐射的最佳强度来以该最佳强度照射入射辐射的控制部分。

2.根据权利要求1所述的能量分散型辐射探测系统,其中控制部分包括分析装置,用于计算目标元素的灵敏度、在对应于目标元素的辐射的能量中由堆积引起的第一背景强度和由除了堆积之外的其他引起的第二背景强度、和在由被探测的辐射的光谱探测辐射时探测系统的空载时间率;和

入射辐射强度确定装置,用于基于灵敏度、第一背景强度、第二背景强度和空载时间率来计算最小化目标元素的探测的最小极限的入射辐射的最佳强度。

3.根据权利要求2所述的能量分散型辐射探测系统,其中控制部分的入射辐射强度确定装置通过下述设置最佳强度:将在辐射的光谱被探测时照射的入射辐射的强度乘以α、将通过计算的灵敏度乘以α所构成的值代入如<等式1>所示的探测的最小极限DL的计算等式作为灵敏度S、将通过计算的空载时间率乘以α所构成的值代入其作为空载时间τ、并将通过第一背景强度乘以α2构成的值与通过第二背景强度乘以α构成的值的和代入其作为背景强度Ib,计算表明探测的最小极限DL的最小值的系数α,并且确定最佳强度,

等式1

DL = 3 · Ib / T · ( 1 - τ ) S ]]>

其中符号Ib表示背景强度,符号T表示测量时间周期,符号S表示灵敏度,符号τ表示空载时间率。

4.根据权利要求2所述的能量分散型辐射探测系统,其中可以设置其含量将要被确定的多个目标元素;

其中控制部分的分析装置由被探测的辐射的光谱计算相应目标元素的净强度以便能够搜索最小化净强度的目标元素;并且

入射辐射强度确定装置基于最小化净强度的目标元素的灵敏度、第一背景强度和第二背景强度计算入射辐射的最佳强度。

5.根据权利要求1所述的能量分散型辐射探测系统,其中入射系统由能够照射主要X射线作为入射辐射的X射线管构成;并且

其中控制部分能够控制提供到X射线管的电流并通过调整该电流将从X射线管照射的主要X射线设置到最佳强度。

6.一种测量目标元素的含量的方法,用于通过以预定强度将入射辐射照射到样品上探测从该样品发射的辐射来基于被探测的辐射的光谱确定样品的目标元素的含量,该方法包括:

通过以预定的初始强度将入射辐射照射到样品上来探测从该样品发射的初始辐射的初始探测步骤;

基于被探测的辐射的光谱确定最小化目标元素的探测的最小极限的入射辐射的最佳强度的入射辐射强度确定步骤;和

通过以最佳强度照射入射辐射探测从该样品发射的辐射来由该辐射的光谱确定目标元素的含量的常规探测步骤。

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