[发明专利]角分辨分光光刻术的特性测定方法与设备

权利要求书

1.一种配置成测量衬底特性的检查设备，包括：

配置成可提供辐射束的光源；

配置成将所述辐射束聚焦到衬底上的透镜；

配置成在所述辐射束从所述衬底表面反射后，将所述辐射束分离成两个正交偏振的子光束的分束器；以及

配置成可同时检测两个正交偏振子光束的角分辨光谱的检测器系统。

2.如权利要求1所述的检查设备，还包括配置成使所述子光束偏转进一步分开的光楔。

3.如权利要求1所述的检查设备，其中所述分束器包括偏振棱镜。

4.如权利要求1所述的检查设备，其中所述分束器包括沃拉斯顿棱镜。

5.如权利要求1所述的检查设备，其中所述子光束包括TE光束和TM光束。

6.如权利要求1所述的检查设备，其中所述检测器系统配置成在约40ms内检测两个子光束。

7.如权利要求1所述的检查设备，其中所述光源至少包括第三偏振方向。

8.一种测量衬底特性的方法，包括：

提供具有正交偏振方向的辐射束；

将所述辐射束反射而离开衬底表面；

将所述反射辐射束分离成其相应的正交偏振的子光束；以及

同时检测这两个子光束。

9.一种配置成测量衬底特性的检查设备，包括：

配置成可提供具有两个正交偏振方向的辐射束的光源；

配置成将所述辐射束聚焦到衬底上的透镜；

配置成可检测从所述衬底反射的所述辐射束的检测器系统；

第一非偏振分束器，配置成在第一方向上接收来自所述光源的辐射束并将所述辐射束在第二方向上反射到所述衬底上，在所述第二方向上接收从所述衬底反射的辐射束并将所述辐射束传到所述检测器系统；

相对于所述第一非偏振分束器旋转90°的第二非偏振分束器，配置成在第二方向上接收从所述第一非偏振分束器传送的辐射束，在所述第二方向上将所述辐射束的一部分传输至所述检测器并在第三方向上反射所述辐射束的另一部分，其中所述第三方向垂直于所述第二方向；以及

第三偏振分束器，配置成可接收从所述第二非偏振分束器传送的辐射束、将所述辐射束分离成正交偏振的子光束并将所述子光束传送至所述检测器系统，其中

所述检测器系统配置成可同时检测两个子光束的反射光谱。

10.如权利要求9所述的检查设备，其中，所述第三分束器是沃拉斯顿棱镜。

11.如权利要求9所述的检查设备，还包括聚焦系统和设于所述聚焦系统的成像面的光楔，所述光楔配置成使所述正交偏振子光束的方向改变到不同方向上，以使得所述子光束在所述检测器系统上的不同位置处被接收。

12.如权利要求9所述的检查设备，还包括聚焦系统和设于所述聚焦系统的成像面的倾斜反射器，所述反射器配置成使所述正交偏振子光束的方向改变到不同方向上，以使得所述子光束在所述检测器上的不同位置处被接收。

13.如权利要求9所述的检查设备，还包括配置成使所述辐射束的相位移动预定量的移相器。

14.如权利要求13所述的检查设备，其中，所述移相器配置成使所述辐射束的相位移动为0°。

15.如权利要求13所述的检查设备，其中，所述移相器包括平移补偿器。

16.如权利要求13所述的检查设备，其中，所述移相器包括倾斜补偿器。

17.如权利要求13所述的检查设备，其中，所述移相器包括非线性晶体，电压施加于所述非线性晶体以改变通过所述晶体的辐射的相位。

18.如权利要求17所述的检查设备，其中，所述非线性晶体是泡克耳斯盒。

19.如权利要求9所述的检查设备，还包括第四非偏振分束器，配置成与所述第一和第二非偏振分束器组合而用作合成分束器。

20.如权利要求9所述的检查设备，其中，所述第三方向朝向所述检查设备的成像和聚焦支路。