[发明专利]自动光学检测装置

权利要求书

1.一种自动光学检测装置，应用于检测集成电路的表面缺陷，其特征在于，该自动光学检测装置包含：

一匣盘传送装置，用以传送承载至少一集成电路的匣盘，该匣盘具有至少一夹持部；

一压持机构，用以夹持该夹持部，使该匣盘固定于该匣盘传送装置；以及

一影像撷取装置，用以撷取该集成电路表面的一影像，其中通过分析该影像，可检测该集成电路的表面缺陷，其中，该匣盘传送装置具有一拾取头，该拾取头用以分类该集成电路，该拾取头将未通过检测的该集成电路由该匣盘取出并放置于一未通过检测匣盘，且该拾取头将通过检测的该集成电路由下一个该匣盘取出并放置于该匣盘，从而将承载通过检测的该集成电路的该匣盘补满。

2.如权利要求1所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘具有一平面度，该平面度小于0.05mm。

3.如权利要求1所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘具有多个孔洞，用以容置该集成电路，该孔洞的最小长度大于该集成电路最大长度0.05mm。

4.如权利要求1所述的自动光学检测装置，其中，上述的影像撷取装置为CCD。

5.如权利要求1所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘传送装置包含一检测区，该集成电路于该检测区内，由该影像撷取装置进行检测。

6.如权利要求5所述的自动光学检测装置，其中，更包含一进料匣盘堆叠装置，用以存放该匣盘。

7.如权利要求6所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘传送装置更包含一缓冲区，该缓冲区设置于该进料匣盘堆叠装置与该检测区之间，该集成电路于该缓冲区内等候进行检测。

8.如权利要求5所述的自动光学检测装置，其中，更包含一匣盘堆叠装置，用以提供该匣盘至该匣盘传送装置。

9.如权利要求8所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘传送装置更包含一分类缓冲区，该分类缓冲区设置于该检测区与一直通匣盘堆叠装置之间，完成检测的该集成电路于分类缓冲区内等候进行分类。

10.如权利要求9所述的自动光学检测装置，其中，上述的匣盘传送装置更包含一分类区，该分类区具有该拾取头，该拾取头可通过一计算机的控制，将承载通过检测的该集成电路的该匣盘补满。