[发明专利]涂布方法

说明书

本申请以日本专利申请号2006-337687号为优先权。

技术领域

本发明涉及涂布方法，一边将涂布液从设在涂布用涂布头的喷嘴部前端面的狭缝状排出口供给到被涂布体的表面，一边使该涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂布液涂布在被涂布体的表面上。尤其具有如下特征：即使在所述涂布液使用了低粘度的涂布液的场合，也可防止发生沿移动方向的条纹不均情况，并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。

背景技术

以往，在制造液晶显示板、等离子显示板、有机电致发光显示板等时，利用涂布装置将各种涂布液涂布在玻璃基板、树脂薄膜、金属箔等各种被涂布体的表面上。

这里，作为这种涂布装置，例如使用图1所示那样的涂布装置。

在该涂布装置中，将设在涂布用涂布头10的唇部前端面上的狭缝状排出口11置于离板状的被涂布体1的表面隔有所需间隔的位置。并且，利用供给泵4将收容于涂布液供给箱3内的涂布液2供给到该涂布用涂布头10的总管12，一边将该涂布液2从所述狭缝状排出口11供给到所述被涂布体1的表面，一边使该涂布用涂布头10沿一定方向在所述被涂布体1上移动，将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上。

这里，如上所述，当将涂布液2从狭缝状排出口11供给到所述被涂布体1的表面时，特别在使用低粘度的涂布液2时，如图2(A)、(B)所示，因排出不均等，刚从排出口11排出后的涂布液2的下端部分成为起伏状态，如此，若在涂布液2的下端部分起伏不均的状态下将涂布液供给到被涂布体1的表面，则会发生涂布液2最初接触的部分和不接触的部分。并且在该状态下，如上所述，若使涂布用涂布头10移动而将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上，则会有发生涂得太少或涂布不均等的问题。

因此，在以往技术中，使涂布液2从所述排出口11继续排出，在使涂布液2充分与被涂布体1的表面接触后，如上所述，使涂布用涂布头10移动而将涂布液2涂布在被涂布体1的表面上(参照日本特开2002-113411号公报)。

但是，即使在这种场合，在涂布液2最初接触的部分和然后接触的部分，涂布液2的状态不相同，会发生沿涂布用涂布头10的移动方向的条纹不均情况，且如图1所示，在供给涂布液2从开始涂布的位置到规定范围的涂布开始部分13，存在着供给在被涂布体1的表面上的涂布液2的膜厚变厚的问题。

另外，在以往的技术中，提出了如下的技术方案：为了将低粘度的涂布液均匀地涂布在被涂布体的表面上，在上述那样的涂布用涂布头中，适当设定设在喷嘴部前端面上的狭缝状排出口的形状等(参照日本特开2000-153205号公报)。

但是，如上所述，即使在使设在喷嘴部前端面上的狭缝状排出口的形状改变的场合，如上所述从排出口排出的涂布液也会成为不均匀的状态，无法解决上述那样的问题。

发明内容

本发明的目的就是解决上述那样的问题，即解决在一边将涂布液从设在涂布用涂布头的喷嘴部前端面上的狭缝状排出口供给到被涂布体的表面、一边使该涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动而将涂布液涂布在被涂布体的表面上时的上述那样的问题。

也就是说，本发明的涂布方法的目的是，即使在使用了低粘度的涂布液的场合，也可防止涂布时发生沿移动方向的条纹不均情况，并可抑制涂布开始位置的涂布液的膜厚变厚的情况。

为实现上述那样的目的，本发明的涂布方法是一边将涂布液从设在涂布用涂布头的喷嘴部前端面上的狭缝状排出口供给到被涂布体的表面，一边使该涂布用涂布头相对于被涂布体相对移动，将涂布液涂布在被涂布体的表面上，其特点是，具有如下工序：从所述涂布用涂布头的排出口将涂布液排出并将涂布液保持在涂布用涂布头的前端面上的工序；待机至如此保持在涂布用涂布头的前端面上的涂布液变得均匀的工序；使所述涂布用涂布头下降而使保持在涂布用涂布头的前端面上的涂布液与被涂布体的表面接触的工序；一边使规定量的涂布液从所述排出口排出一边使涂布用涂布头上升至离被涂布体隔有所需间隔的涂布开始位置的工序。

这里，上述的涂布方法所使用的涂布液的种类不特别限定，如上所述在使用低粘度的涂布液进行涂布的场合是有效的，在使用小于等于50cps的涂布液的场合，又比使用了小于等于20cps的涂布液的场合有效。

另外，如上所述，当将涂布液从排出口排出并使其保持在涂布用涂布头的前端面上时，最好将从排出口排出的涂布液的量控制在能以表面张力保持在涂布用涂布头的前端面上的范围。