[发明专利]固态成像装置及其制造方法、以及摄像机

权利要求书

1.一种背面照射类型的固态成像装置，包括：

衬底，具有第一表面和第二表面，光入射在该第二表面侧；

布线层，设置在该第一表面侧；

光电检测器，形成在该衬底中且包括第一导电类型的第一区；

转移栅极，设置在该衬底的该第一表面上且邻近该光电检测器，该转移 栅极传输积累在该光电检测器中的信号电荷；以及

至少一个控制栅极，设置在该衬底的该第一表面上且叠置在该光电检测 器上，该控制栅极控制该第一表面附近该光电检测器的电势；

其中，所述至少一个控制栅极包括多个控制栅极，且该多个控制栅极相 关于单个光电检测器设置。

2.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该光电检测器包括第二导 电类型的第二区，该第二区至少设置在该第一表面侧或该第二表面侧。

3.一种制造背面照射类型的固态成像装置的方法，该固态成像装置包 括具有第一表面和第二表面的衬底，布线层设置在该第一表面侧，光入射在 该第二表面侧，该方法包括步骤：

在衬底中形成包括第一导电类型的第一区的光电检测器；

形成在该衬底的该第一表面上的区域处且邻近该光电检测器的转移栅 极；以及

形成在该衬底的该第一表面上的区域处且叠置在该光电检测器上的控 制栅极；

其中所述控制栅极包括多个控制栅极，且该多个控制栅极相关于单个光 电检测器设置。

4.一种摄像机，包括：

背面照射类型的固态成像装置，包括

衬底，具有第一表面和第二表面，光入射在该第二表面侧；以及

布线层，设置在该第一表面侧；

光学系统，将入射光引导向所述第二表面侧；以及

信号处理电路，处理该固态成像装置的输出信号；

其中该固态成像装置还包括

光电检测器，设置在该衬底中且包括第一导电类型的第一区，

转移栅极，设置在该衬底的该第一表面上且邻近该光电检测器，该转移 栅极传输积累在该光电检测器中的信号电荷；以及

控制栅极，设置在该衬底的该第一表面上且叠置在该光电检测器上，该 控制栅极控制该第一表面附近该光电检测器的电势；

其中所述至少一个控制栅极包括多个控制栅极，且该多个控制栅极相关 于单个光电检测器设置。