[发明专利]光刻设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种光刻设备，包括：

照射系统，被配置用于调节辐射束；

支架，被构建用于支撑构图装置，所述构图装置能够沿截面给予辐射束图案以形成已构图的辐射束，所述支架包括支架夹具，所述支架夹具被构建用于将构图装置夹紧到支架上；

弯曲机械装置，被构建用于将弯曲扭矩施加到已夹紧的构图装置上，所述弯曲机械装置包括力/扭矩传动装置，被配置用于无需实质减小由支架夹具施加于构图装置上的夹紧力就可以对已夹紧的构图装置起作用；

衬底台，被构建用于保持衬底；以及

投影系统，被配置用于将已构图的辐射束投影到衬底的目标部分上。

2.根据权利要求1的设备，其中，所述弯曲机械装置与支架夹具分离。

3.根据权利要求1的设备，其中，力/扭矩传动装置被构建用于在相对于已夹紧的构图装置的中线的高度偏移处施加拉力、推力或其拉力和推力。

4.根据权利要求3的设备，其中，高度偏移e＝h/6，h是构图装置的高度。

5.根据权利要求3的设备，其中，提供了至少两个力/扭矩传动装置，第一力/扭矩传动装置被配置用于在中线以上施加推力、拉力或者拉力和推力，以及第二力/扭矩传动装置被配置用于在中线以下施加推力、拉力或拉力和推力。

6.根据权利要求1的设备，其中，力/扭矩传动装置被构建用于在已夹紧的构图装置的外围侧边缘处施加拉力、推力或拉力和推力。

7.根据权利要求1的设备，其中，将两组力/扭矩传动装置配置在已夹紧的构图装置的两个相对外围侧边缘处。

8.根据权利要求1的设备，其中，所述弯曲机械装置还包括连接器，被配置用于实现与已夹紧的构图装置的连接。

9.根据权利要求8的设备，其中，所述连接器包括真空元件。

10.根据权利要求8的设备，其中，将连接器被构建用于实现与已夹紧的构图装置外围侧边缘的连接。

11.根据权利要求1的设备，其中，所述连接器与支架夹具集成。

12.根据权利要求1的设备，其中，所述弯曲机械装置包括推/拉束。

13.根据权利要求1的设备，其中，所述力/扭矩传动装置是推类型的。

14.根据权利要求1的设备，其中，所述力/扭矩传动装置包括气体波纹管。

15.根据权利要求1的设备，其中，所述力/扭矩传动装置包括洛伦兹传动装置。

16.根据权利要求1的设备，其中，所述力/扭矩传动装置包括压电元件。

17.根据权利要求1的设备，其中，包括沿构图装置的外围侧边缘被定位为彼此相邻的多个力/扭矩传动装置。

18.根据权利要求17的设备，其中，所述力/扭矩传动装置是单独可用的。

19.根据权利要求1的设备，其中，所述支架包括三点悬挂装置以支撑构图装置。

20.根据权利要求1的设备，其中，将所述力/扭矩传动装置被定位为向与支架夹具相连的界面施加旋转的力/扭矩，所述界面具有沿已夹紧的构图装置的中心进行定位的旋转中心。

21.根据权利要求20的设备，其中，所述界面包括杆，作为联动系统与支架夹具旋转相连，所述联动系统具有沿已夹紧的构图装置的中线进行定位的旋转中心。

22.根据权利要求1的设备，其中，所述支架夹具被构建用于将构图装置在其底部表面处、顶部表面处、或底部表面处和顶部表面处进行夹紧。

23.一种器件制造方法，包括：

使用支架夹具将构图装置夹紧到支架上；

无需实质减小由支架夹具施加于构图装置上的夹紧力，将弯曲扭矩施加到已夹紧的构图装置上；

使用构图装置沿横截面给予辐射束图案以形成已构图的辐射束；以及

将已构图的辐射束投影到衬底上。